表面！#$%厚度对#$%基发光二极管特性影响！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 5% $ $##( $ ， ， ， V@= 35% +@ 3$ WEBO?*OX $##( （ ） ###;7$:#4$##(45% #$ 4 $$#;# 28S2 6TUQ/82 Q/+/82 $$##( 8K0 3 6KXL 3 Q@G 3 ############################################################### 表面!#$% 厚度对#$% 基发光二极管特性的影响! ! 顾晓玲 郭 霞 吴 迪 李一博 沈光地 （北京工业大学，北京市光电子技术实验室，北京 ###$$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $##% # $##% ’ ( 通过调整 基发光二极管（ ）表面 层的厚度，发现在 电流驱动下， 器件的正向压降有明 )*+ ,-. /0)*+ $# 12 ,-. 显差距 本文考虑了极化效应的影响，通过求解 三角形势阱内二维空穴气浓度以及空穴隧穿概率的变 3 /0)*+4 )*+ 化，求得了表面 层厚度不同时器件正向压降的变化趋势，发现理论结果与实验结果有很好的吻合 同时得到 /0)*+ 3 了获得最低正向压降的表面/0)*+ 厚度3 关键词：极化，二维空穴气，隧穿概率 ： ， ， ’(( %(’56 %(5#) %%7# 积在（ ）蓝宝石衬底上生长而成 首先在蓝宝石 ### 3 H 引 言 衬底上生长 $### 01 的 )*+ 缓冲层，其上淀积 厚的 型 ，掺杂浓度为 ( N 7 ，随 ### 01 0 )*+ M # G1 近年来， 基 的研究和应用得到了飞速 )*+ ,-. 后生长量子阱区，势阱层 组分为 ，势垒层为 /0 # H7 ［— ］ 发展 5 其中 型 层广泛采用 注入，由于 3 I )*+ J )*+，然后生长一层# 01 厚)*+ 和5## 01 厚掺杂 的离化浓度较小，致使 型欧姆接触电阻较大，