ZAoWO3PAMPSZAO全固态电致变色薄膜器件的.PDF

维普资讯 第37卷 第 5期 稀有金属材料与工程 、，_01．37．NO．5 2008年 5月 RAREM ETAL L RIALSAND ENGINEERING M ay 2008 ZAo／WO3／PAMPS／ZAO全固态电致变色薄膜器件 的制备和性能研究 张金伟 ，刁训刚 ，马 荣 ，张鲁玉 ，王怀义 ，武 哲 ，舒远杰2 (1．北京航空航天大学 ，北京 100083) (2．中国工程物理研 究院，四川I绵阳 621900) 摘 要：采用直流反应磁控溅射法制备 ZAO薄膜和 WO3薄膜 ，PAMPS．Li作为离子储存层和离子导 电层 ，ZAO薄膜 作为对 电极，制备成 zAO／wO3／PAMPS／ZAO电致变色器件 。运用 XRD、SEM、可见分光光度计、伏安特征曲线分别对 薄膜的晶体结构、成分、微观表面形貌、透射光谱特性及 电致变色性能进行分析 ，探讨了WO，薄膜 的电致变色性能和 微观结构之间的关系 结果表 明：PAMPS．Li离子胶体是一种很好 的离子储存层和离子导 电层 。实验 中全固态 电致变 色薄膜器件在可见光范围内着色态和褪色态平均透光率差值高达 50 以上。 关键词：电致变色器件；全固态 ；直流磁控溅射；PAMPS．Li；WO3 中图法分类号：TGl74．444 文献标识码 ：A 文章编号：l002．185X(2008)05．09l4．04 电致变色是指 由于 电场 的原 因，物质发生氧化． 移时吸收光子能量导致着色 J。 还原反应，引起其颜色的变化 ，而这种颜色的变化能 WO3薄膜可 以由多种沉积技术获得，如溅射 6【】、 够可逆地响应电场的变化，且具有开路记忆的功能_1J。 化学气相沉积 (CVD)【、溶胶．凝胶 (So1．Ge1)8【J等， 利用 电致变色材料可用来制备变色的玻璃 窗、大面积 其 中磁控溅射法制备薄膜具有成膜速度快，高纯度， 屏幕、 “灵巧窗”、防炫 目后镜等， 目前 已有部分产 品 高密度 以及 良好的结合性和强度等优点，可通过控制 上市 【。 气氛压力和温度来制得高性能的WO 薄膜。本研究选 电致变色材料可分为两大类，一类为无机变色材 取磁控溅射法制备 WO ，作为电致变色器件 的变色 料，主要集中在过渡金属氧化物，这些过渡金属氧化 层 。同时选择掺杂 Li的聚 2．丙稀酰胺．2．甲基丙磺酸 物通过离子(例如 Li，Na+或 H+等)和电子的共注入和 (PAMPS)作为离子储存层和离子导 电层，这样不仅 共抽出，使其化学价态或晶体结构发生变化，从而实 有利于制备出全固态的电致变色器件 ，同时也为大面 现着色和退色的可逆变化，最常见的如 MoO3、V2O5、 积的制备提供 了条件。而掺铝氧化锌 (ZAO)透 明导 NiO、WO 等 。另一类为有机 电致变色材料，通过 电 电膜 ，相对于 ITO和 SnO2薄膜而言，具有价格便宜， 子的得失发生氧化．还原反应，从而实现着色和退色的 在氢气气氛下有更好的稳定性等特点。 可逆变化 J。 1 实验方法 自从 1969年首次发现了WO3薄膜的电致变色现象 以来，WO 薄膜就成为国内外研究最多的电致变色薄 选用载玻片作为基片，在北京天瑞星公司生产 的 膜。因其具有高的变色效率和相对较低的价格，一直是 大型 TX1800商用磁控溅射镀膜机上制备各层薄膜 。 人们首选的无机电致变色化合物。关于 WO3电致变色 溅射所用靶材为 Zn：AI(99．2：0．8)和纯钨靶 。靶与衬 的机理