电磁透镜的像差与分辨率.ppt

1、引言 1、引言 2、电子波与电磁透镜 2、电子波与电磁透镜 2、电子波与电磁透镜 2、电子波与电磁透镜 当两个埃利斑的中心间距等于埃利斑的半径R0时，在两个埃利斑强度叠加曲线上，两个最强峰之间的峰谷强度降低了19％，这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉，即该反差是人眼能否感觉出存在S1’、S2’两个斑点的临界值。将此时两个埃利斑的间距折算到物平面上点S1、S2的位置上去，就形成两个以△r0＝R0/M为半径的小圆斑，两个圆斑之间的距离与它们的半径△r0相等。如果两个物点S1、S2的距离进一步缩小，就无法通过透镜把它们的像S1’、S2’分辨出来。 结论：若以任一物点为圆心，并以△r0为半径作一个圆，此时与之相邻的第二物点位于这个圆周之内时，透镜就无法分辨出此二物点间的反差。如果第二物点位于圆周之外，便可被透镜鉴别出来。因此△r0就是衍射效应限定的透镜分辨率。 2、电子波与电磁透镜 (2) 电子波波长 根据德布罗意（de Broglie）的观点，运动的电子除了具有粒子性外，还具有波动性。这一点上和可见光相似。电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即: 式中，h为普朗克常数，h=6.626×10-34J.s；m为电子质量； v为电子运动速度，它和加速电压U之间存在如下关系： e为电子所带电荷，e = -1.6×10-19C。 (2) 电子波波长 当电子运动速度较低时，m接近电子静止质量m0（m0＝9.1×10-31Kg）；当电子运动速度很高时，电子质量必须经过相对论校正，即： 可见，λ与U成反比，加速电压U越高，电子运动速度v越大，电子波长λ越短。 不同加速电压下的电子波波长 目前电子显微镜常用的加速电压为100KV～1000KV之间，对应的电子波波长范围是0.00371nm～0.00087nm，这样的波长比可见光的波长短了约5个数量级。 不同加速电压下的电子波波长 问题：电子波波长很短，按照极限分辨率公式，电子显微镜的分辨率应该比可见光高很多的，但目前电子显微镜的最高分辨率仅为0.1nm，仅比可见光高出3个数量级，为什么？ 电子波和光波不同，不能通过玻璃透镜会聚成像。但是轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射，从而产生电子束的会聚与发散，达到成像的目的。用静电场构成的透镜称之为“静电透镜”；把电磁线圈产生的磁场所构成的透镜称之为“电磁透镜”。 静电透镜 当电子在电场中运动，由于电场力的作用，电子会发生折射。将两个同轴圆筒带上不同电荷（处于不同电位），两个圆筒之间形成一系列弧形等电位面族，散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚于一点。这样就构成了一个最简单的静电透镜。 透射电子显微镜中的电子枪就是一个静电透镜。 电磁透镜 电子在磁场中要受到洛伦兹力： 电子沿磁场方向入射,则电子沿这个方向匀速直线运动。 电子垂直于磁场方向入射,则电子在一个平面内做圆周运动 电子相对于磁场方向以任意角入射,则电子做螺旋线运动。 超高分辨率显微技术Super Resolution Microscopy，SRM 光激活定位显微技术（photoactivated localization microscopy, PALM） 随机光学重构显微技术（stochastic optical reconstruction microscopy, STORM） 受激发射损耗显微技术（stimulated emission depletion, STED） 饱和结构照明显微技术（saturated structure illumination microscopy, SSIM） 定义Δrs为球差 其中：Cs—球差系数，通常电磁透镜的Cs相当于焦距， 约为1~3mm；α—孔径半角。 通过减小Cs和降低α来减小球差，尤其减小α可以显著降低Δrs。但无法像光学显微镜那样通过凸、凹透镜的组合设计来补偿或矫正 一个理想物点P 透镜球差 一个半径为Δrs漫散圆斑 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 （2）像散 像散——由于透镜磁场的非旋转对称(轴向不对称)引起的像差。极靴内孔不圆、上下极靴轴线错位、极靴材质不均匀以及周围的局部污染都会导致透镜的磁场产生椭圆度，使电子在不同方向上的聚焦能力出现差异。 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 3、电磁透镜的像差与分辨率 透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别，结果使成像物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点 △rA表示像散的大小： △fA为像散引起的最大焦距差，称像散系数。 像散是可以消除的像差，可以通过引入一个强度和方位可调的矫正磁场来进行补偿。产生矫正磁场的装置叫消像散器。 （