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第九章 透射电子显微镜§9-1 透射电镜主要结构§9-2 透射电镜电子图象形成原理§9-3 透射电镜样品制备§9-4 电子衍射及结构分析透射电子显微镜透射电子显微镜是利用电子的波动性来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器.尽管复杂得多,它在原理上基本模拟了光学显微镜的光路设计,简单化地可将其看成放大倍率高得多的成像仪器.一般光学显微镜放大倍数在数十倍到数百倍,特殊可到数千倍.而透射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之间,有些甚至可达数百万倍或千万倍.目前,风行于世界的大型电镜,分辨本领为2~3 埃,电压为100～500kV,放大倍数50~1200,000倍.由于材料研究强调综合分析,电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件,如扫描电镜,扫描透射电镜,X射线能谱仪,电子能损分析等有关附件,使其成为微观形貌观察,晶体结构分析和成分分析的综合性仪器,即分析电镜.它们能同时提供试样的有关附加信息.高分辨电镜的设计分为两类:一是为生物工作者设计的,具有最佳分辨本领而没有附件;二是为材料科学工作者设计的,有附件而损失一些分辨能力.另外,也有些设计,在高分辨时采取短焦距,低分辨时采取长焦距.电镜的主要结构高分辨分析透射电子显微镜 JEM200CX高分辨分析透射电子显微镜JEM2010§9-1 透射电镜主要结构电镜的基本组成包括电子枪(光源)与加速级管,聚光系统,成像系统,放大系统和记录系统.光路上主要由各种磁透镜和光阑组成. 1.照明系统2.成像放大系统1).物镜2).光阑3).中间镜,投影镜 M总=M物×M中×M投3.显象记录系统透射电镜组成示意图请看下图光学显微镜和电镜路图比较光源中间象物镜试样聚光镜目镜毛玻璃电子枪聚光镜试样物镜中间象投影镜观察屏照相底板照相底板1 . 电子光学系统图9.1 是近代大型电子显微镜的剖面示意图,从结构上看,和光学透镜非常类似.1)照明部分(1)阴极:又称灯丝,一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状.(2)阳极:加速从阴极发射出的电子.为了安全,一般都是阳极接地,阴极带有负高压.(3)控制极:会聚电子束;控制电子束电流大小,调节象的亮度.阴极,阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能,因此,人们习惯上把它们通称为电子枪. 透射电镜一般是电子光学系统,真空系统,供电系统三大部分组成.(4)聚光镜:由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用,电子束穿过阳极小孔后,又逐渐变粗,射到试样上仍然过大.聚光镜就是为克服这种缺陷加入的,它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用.阴极(接负高压)控制极(比阴极负100~1000伏)阳极电子束聚光镜试样照明部分示意图电子枪电子枪的类型有热发射和场发射两种,大多用钨和六硼化镧材料.一般电子枪的发射原理与普通照明用白炙灯的发光原理基本相同,即通过加热来使整个枪体来发射电子.电子枪的发射体使用的材料有钨和六硼化镧两种.前者比较便宜并对真空要求较低,后者发射效率要高很多,其电流强度大约比前者高一个量级.场发射电子枪及原理示意图热发射和场发射的电子枪热发射的电子枪其主要缺点是枪体的发射表面比较大并且发射电流难以控制.近来越来越被广泛使用的场发射型电子枪则没有这一问题.如图所示,场发射枪的电子发射是通过外加电场将电子从枪尖拉出来实现的.由于越尖锐处枪体的电子脱出能力越大,因此只有枪尖部位才能发射电子.这样就在很大程度上缩小了发射表面.通过调节外加电压可控制发射电流和发射表面.这部分由试样室,物镜,中间镜,投影镜等组成.(1)试样室:位于照明部分和物镜之间,它的主要作用是通过试样台承载试样,移动试样.(2)物镜:电镜的最关键的部分,其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上,构成含有试样结构信息的散射花样或衍射花样;将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其象平面上,构成与试样组织相对应的显微象.透射电镜的好坏,很大程度上取决于物镜的好坏.2)成象放大部分近代高性能电镜一般都设有两个中间镜,两个投影镜.三级放大放大成象成象和极低放大成象示意图如下所示:(a)高放大率(b)衍射(c)低放大率物物镜衍射谱一次象中间镜二次象投影镜三次象(荧光屏)选区光阑物镜关闭无光阑中间镜(作物镜用)投影镜第一实象(荧光屏)普查象极低放大率象这部分由观察室和照相机构组成.在分析电镜中,还有探测器和电子能量分析附件.3)显象部分为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用,而不与空气分子发生碰撞,因此,整个电子通道从电子枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内,一般真空度为 10