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附录A 范 文 设计类： 一种微纳米硬度检测装置的研制 ×××，×××，×××，××× 摘要：纳米压痕技术是一种先进的材料微硬度测量方法,广泛应用于微机电系统、摩擦学性能研究 等领域。研制一种新型的纳米硬度检测装置，采用电磁驱动方式加载微载荷和电容传感器测试微位 移。试验装置的载荷分辨率为47μN，位移分辨率为7nm。通过对单晶铜进行压痕试验证明，该装 置可以实现纳米级的显微硬度测试。 关键词：纳米硬度；电磁驱动；电容传感器；压痕试验 中图分类号：TH 文献标识码：A 0 引言 近十几年来，随着微机电系统(Micro electro mechanical systems，MEMS)、薄膜材料、生物工程等发展，需要检测材料在微小几何尺寸下的力学性能，要求达到微米级甚至纳米级，这需要先进的测量方法和手段[1]。纳米压痕技术是一种先进的材料微硬度测量方法，由于其装置上具有较高分辨率的力传感器和位移传感器，可获得压头在压入和退出材料时连续的载荷-位移曲线，通过相应的算法可以计算出材料的硬度与弹性模量等物理量。图1所示为典型的载荷-位移曲线。在加载过程中，试样表面首先发生弹性变形，随着载荷的逐渐增大，试样开始发生塑性变化，加载曲线呈非线性；卸载曲线则反映了材料弹性恢复的过程。根据加卸载曲线，通过相应的算法可以得到材料的纳米硬度和弹性模量，在这些算法之中，应用最广泛的是Oliver-Pharr[2]方法，它通过经典的弹塑性理论给出硬度的定义： (1) P＝B(h-hf)m (2) (3) (4) (5) 式中：Pmax为最大载荷，N；Ac为接触表面的接触面积，与接触深度有关；P为作用在试样上的载荷，N；h为压头位移，m；hmax为最大压深；hf为完全卸载后的位移，m；hc为接触深度，m；B、mε、Ciε＝0.75）。 1 系统的总体设计 微纳米硬度检测技术的关键是微驱动力测量和微位移检测。电磁驱动装置具有结构简单、不存在机械摩擦、能实现直流电流精确控制等优点，并且在磁力的作用下，拉杆能实现自动对中，减小了振动，选用电磁驱动作为微载荷的加载方式。电容传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应快和稳定性好等特点，特别适用于变化缓慢或微小量的测试，选其作为该装置的微位移检测方式，为便于封装和系统的集成，此处选用单式电容传感器。 图1 载荷-位移曲线 1.1 系统的整体结构设计 基于微驱动力加载方式和微位移检测方式的选择，系统的结构应使电磁驱动装置和电容传感器装卸方便，保证其位置精度要求；系统的控制和信号检测电路应尽量靠近执行机构，缩短外接导线的长度，避免外界信号对系统的干扰。综合以上因素，系统的结构图如2所示。系统的电路部分放置在空腔1内；孔2用来放置电容静极板，动极板固定在移动轴顶端，通过绝缘体与移动轴隔绝。两电容片表面均要经过研磨，以保证接触表面粗糙度Ra0.32μm。同时，静极板为可调式，这样可以通过调节上电容片的位置，来减少因传递轴的自重引起的对电容片之间位置变化的影响。移动轴由上、下两部分构成，通过螺纹连接。移动轴上部分从两个固定在基体上的变形筋中心穿过，通过与轴套和移动轴下半部分的配合来固定住两块磁铁，并保证每块磁体的尺寸中点分别在激励线圈的末端[3]。移动轴下半部分的最末端装夹金刚石压头。工作原理如下：当线圈通电时，因电磁效应而产生电磁力，驱动传递轴运动，电容的两个极板之间的距离发生变化，从而引起电容的变化，电容信号经外部电路转换为直观易测的电信号，经过A/D转换输入PC，进行显示与存储；线圈断电，移动轴会在变形筋的作用下恢复到起始位置。 图2 系统结构简图 1.2 变形筋性能分析 变形筋的材料选取与形状对系统的性能有直接的影响。变形筋的刚度太大或太小都会影响系统的动态特性，必须对变形筋的性能进行分析。为减小变形筋的内应力，上、下变形筋均采用金属腐蚀方法加工而成。当加载最大驱动力450mN时，变形筋的挠度应大于20μm。图3所示为变形筋的载荷-位移标定曲线，其线性度0.9998。在450mN载荷的作用下，变形筋的挠度68.3μm，通过有限元分析结果为73.7μm，出现偏差可能是由于变形筋本身的精度和安装尺寸误差引起的。 图3 载荷-位移标定曲线 1.3 微载荷加载子系统的设计 作为驱动