SU8200场发射扫描电镜技术说明文件.doc

SU8200场发射扫描电镜技术说明文件 一、二次电子分辨率： 0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm) 1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式) 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品） 二、放大倍率： 低倍模式： (20 到 (2k 高倍模式： (100 到 (1000k 三、电子光学： 电子枪： 冷场发射电子枪（带有柔性flash功能） 加速电压: 0.5 到 30 kV 着陆电压: 0.01到 2 kV 透镜系统 三级电磁透镜系统 物镜光阑 四孔可调光阑(内置加热自清洁功能) 扫描线圈 二级电磁式偏转线圈（高倍模式） 一级电磁式偏转线圈（低倍模式） 消像散器 八级电磁系统（X，Y） 探测器： 低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top） Y 0 ~ 50 mm 0 ~ 110 mm 0 ~ 80 mm Z 1.5 ~ 30 mm 1.5 ~ 40 mm 1.5 ~ 40 mm T -5 ~ 70° R 0 ~ 360° 样品尺寸 最大样品尺寸（直径） 150 mm 可安装样品高度 SU8220 SU8230/SU8240 样品最大直径 样品最大高度 样品最大直径 样品最大高度 26 mm 17 mm 26 mm 24 mm 75 mm 8 mm 75 mm 15 mm 100 mm 6 mm 125 mm 12 mm 150 mm 2 mm 150 mm 8 mm 换样 预抽室 样品台控制： 图形界面控制 自动样品更换位置定位功能 样品台移动轨迹存储功能 优中心旋转功能 图片导航功能 五、显示系统 用户界面 电脑显示器上的图形用户界面 电脑 操作系统：微软Windows 7 专业版（32位） 操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆） 显示器 24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920×1,200像素） 扫描模式： 二维图像显示 选区模式 点分析模式 平均浓度分析模式 图像显示模式 大屏显示模式 (1280 ( 960) 单屏显示模式 (800 ( 600) 双屏同时显示模式 (800 ( 600) 四屏同时显示模式 (640 ( 480) 选区显示模式（图像调整时使用） 电子光学对中： 电子束对中 光阑对中 像散对中 低倍对中 扫描模式 积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图 荷电抑制扫描(CS扫描) 扫描速度 TV：两级扫描速度（Rapid1～Rapid2）））） 渐变转换 ( Gamma 调节 ( 多重滤波处理 图像存储： 图像存储尺寸：640 ( 480，800 ( 600，1,280 ( 960，2,560 ( 1,920，5,120 ( 3,840像素 保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG 图像打印 自由布局打印功能 保存数据图像的处理 图像管理和处理(SEM Data Manager) ： ( 图片数据库管理 ( 缩略图显示 ( 多种图片处理功能 其他功能： 束闸功能（图像冻结时） 光栅旋转/倾斜补偿 测量功能 (实时图像或存储图像) 参数显示 (照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间) 参数条被底：透明、黑色 数据输入和标注（圆，矩形，箭头，尺寸线） 外部设备接口： USB 接口 网卡接口 X射线分析功能扫描模式： 点扫描 面扫描 DBC接口（选配） 六、真空系统 真空控制： 完全自动气动阀系统 真空泵： 离子泵： 60 L/s ( 1, 20 L/s ( 2磁悬浮分子泵： 300 L/min ( 1（主抽气）机械泵 为减轻污染，推荐使用干泵 真空量规： 全量程量规，皮拉宁规两个（控制真空系统），潘宁规一个 真空度： 电子枪： ﹤10-8 Pa 样品室： ﹤10-4 Pa 样品交换室： 六寸预抽室 七、保护措施 断电保护、断水保护、漏气保护 八、循环水 冷却水循环 流速：1.0～1.5 L/min （冷却物镜） 水压：50～100 kPa 水温：10 to 20 (C （10分钟内最大可变化0.5度） 九、防污染措施 液氮冷阱 十、SU8200系列扫描电镜（SU8220,SU8230,SU8240） ） 990 850 1,710 mm 665 kg 主机（SU8230） 990 850 1,745 mm 740 kg 主机（SU8240） 990 850 1,745 mm 745 kg 显示单元 1,120 1,100 1,200mm