利用二维PSD器件测量小角度的研究一种新型的自准直仪_朱小平.pdf

　　　　现代计量测试 2001 年第2 期 文章编号:1005-3387 (2001)02-0040-44 利用二维PSD 器件测量小角度的研究 一种新型的自准 仪 朱小平,张永年,杨自本, 陈允昌 (中国计量科学研究院,北京　100013) 摘要:文章中对二维PSD 用于二维小角度测量的研制的原理方法和试验结果作了介绍, 同时对二维PSD 自准 仪的性能特点也有较详细的分析论述, 也为小角度测量仪器的开发提出了一种崭新的方法。 关键词:自准 仪;角位移;位置敏感器件 中图分类号:TB922　　　　　文献标识码:A 0 　概述 自准 仪是小角度测量中非常重要的测量仪器。它常用比较或绝对方法测量小角度, 由于它 具有较高的准确度和测量分辨力, 因而得到广泛的应用。几十年来, 国内生产的自准 仪中以光学 机械式的为主。近几年, 由于微电子半导体行业的迅猛发展,一些高性能的光电器件也随之出现, 与此同时,这些新型光电器件的出现 接导致了新兴的应用领域。本文简要的介绍二维面阵位置 敏感器件(简称二维PSD 器件)在自准 仪中的应用研究作用。 1 　二维PSD 器件测量原理 1.1 　二维P SD 器件的工作原理 二维PSD 器件一般具有方形的敏感接收面(如图1 所示), 当光斑信号打在接收面上时, 四个电 极X1 、X2 、Y1 、Y2 将有不同的光电流输出,大小取决于光斑在接收面上的具体位置,理论计算公式如 下: 图1　方形敏感接收面示意图 　 40 X 1 -X 2 L Y 1 -Y2 L IX = · ,IY = · X 1 +X 2 2 Y 1 +Y2 2 1.2 　自准 仪的光学原理(如图2 所示) 图2 　自准 仪的光学原理图 图2 中, 当反射镜有一角位移θ时,从反射镜回来的光经过准 物镜后, 聚在目镜分划板上的 像有一偏移量S,它与反射镜的角位移θ有如下关系: -1 S S θ=tan ≈ 2f 2f 其中,f 为物镜的焦距;S 为光斑偏移量。 当采用二维PSD 器件代替目镜分划板并作为自准 仪中反射像偏移量的接收器时, 这种偏移 量S 的大小恰好能被PSD 器件所感知接收,而物镜的焦距f 为已知, 因此,反射镜的角位移θ的测 量转换成PSD 器件上光斑的位置测量。 由光斑的偏移量经PSD 器件转换为两对光电流(IX1 、IX2 和IY1 、IY2 )后, 通过电流电压转换放大电 路后输出两对 流电压(VX 1 、VX2 和VY1 、VY2 ),此电压再由加减及乘除法运算电路作一定运算及滤 波稳压电路后输出稳定的电压信号V 、V , 最后经由16 位高准确度和高分辨力的模数转换器转换 X Y 成数字量,被计算机采集和处理,并显示最终角位移量θ的大小。其工作流程如图3 所示。 反射镜的角 光学转换放大 二维PSD 接 位移变化 系统 收器 数据采集计算 模拟量到数字 信号滤波、放 处理显示系统 量的转换 大、运算处理