溶胶凝胶法制备薄膜及涂层资料.pptVIP

7.1 溶胶－凝胶法制备薄膜的工艺特征 7.1.1反应体系的确定 考虑因素 (1)以当前先进功能烧结陶瓷主成分为依据选择相应的无机前驱体； (2)合成初期的化学现象具有代表性； (3)涉及单组分和多组分氧化物。 反应体系的组成如表7-1所示。 7.1.1.2 成膜促进剂的作用和组成原则 在薄膜与涂成的制备过程中，成膜促进剂主要起到以下作用： (1)起到高分子的位阻作用。 (2)延缓溶剂挥发作用。 (3)带不同长度支链和极性基团的高分子对最终材料的微结构有控制作用。 在成膜促进剂的参与下，无机前驱体Sol-Gel膜的成膜机制如图7-1所示。 7.1.1.3 影响成膜性和膜结构的主要因素 (1) 溶胶稳定性 沉淀剂的种类，沉淀反应的速度和温度；pH；溶胶剂种类，溶胶温度和时间；成膜促进剂加入后的分散方式与时间。 (2)干燥制度 特别细致的升温并在有关分解温度充分保温有利于获得结构致密的陶瓷膜，反之有利于得到多孔膜。 图7-2 为ZrO2(Y2O3)-Al2O3膜的早期干燥曲线 7.1.2 醇盐法制备薄膜的溶胶-凝胶工艺特征 7.1.2.1 反应体系的确定 反应体系包括：金属醇盐、溶剂、水、催化剂、水解速度控制剂及成膜控制剂。 表7-2 给出了几种典型醇盐法制备薄膜的溶胶-凝胶反应体系的组成 7.1.2.2影响成膜性和膜结构的主要因素 采用醇盐法制备薄膜时，影响成膜性和膜结构的主要因素仍然是溶胶的配比、溶胶的稳定性、干燥制度、烧结制度和基体的选择等，具体情况与7.1.1.3节讨论的相同。此处需要强调的是溶胶的稳定性是可以工业化最关键的前提条件。 7.1.3 溶胶-凝胶法制备膜工艺优点 (1)工艺设备简单，无需真空条件或真空昂贵设备； (2)工艺过程温度低，这对于制备含有易挥发组分或在高温下易发生相分离的多元系来说尤其重要； (3)可以大面积在各种不同形状、不同材料的基底上制备薄膜，甚至可以在粉末材料的颗粒表面制备一层包覆膜； (4)易制得均匀多组分氧化物膜，易于定量掺杂，可以有效地控制薄膜成分及微观结构。 7.2溶胶-凝胶法制备薄膜的工艺方法 溶胶-凝胶法制备薄膜方法有：浸渍法(Dipping)，旋覆法(Spinning)，喷涂法(Spraying)和简单刷涂法(Painting) 及电沉积法等等。常用的是浸渍法和旋覆法。 溶胶-凝胶法制备薄膜的工艺流程如图7-3所示。 7.2.1 基板性质及清洗方法 7.2.1.1基板性质 常用的基板有玻璃、Si(100)、Si(111)、蓝宝石(Al2O3)、瓷片以及树脂基板等。 为了降低成本和获得工业用途，大多数薄膜制备在玻璃基板上。 表7-3 给出了几种玻璃基板的化学组成 7.2.1.3清洗效果的检测与评价方法 (1) 呼气成象法 如果向玻璃表面哈一口气，其表面会有水附着。清净的基板经火焰处理后，水在表面形成均匀薄膜，没有光散乱，成黑色呼气象。不清洁的基板呈灰色呼气象。 (2) 液滴法 在基板的表面置以水或醇等液体时，通过其扩散、润湿、接触角的大小可以判定基板表面的清洁度。接触角的测定可采用光反射法、扩大映象法等。玻璃的清洗方法与接触角之间的关系示于图7-7。 7.2.2 涂膜 主要方法： 浸渍提拉法 旋转涂覆法 喷雾涂层喷涂法 电沉积法 流动涂膜技术 毛细管涂镀技术 滚动/照相凹版涂镀技术 印花技术 化学涂层 1 提拉浸渍法 浸渍提拉法是将整个洗净的基板浸人预先制备好的溶胶之中，然后以精确控制的均匀速度将基板平稳地从溶胶中提拉出来，在粘度和重力作用下基板表面形成一层均匀的液膜，紧接着溶剂迅速蒸发，于是附着在基板表面的溶胶迅速凝胶化而形成一层凝胶膜。 浸镀工艺过程如图7-8所示。 薄膜的厚度取决于溶胶的浓度、粘度和提拉速度。 当镀液的粘度η及提升基板的速度V足够大时，决定膜厚的因素只有两个力。一是基板向上的粘性拉力(K?V/h)，二是重力(?gh)，在稳定条件下，两力达到平衡（式7-5）。 旋转涂覆技术也称自旋涂镀技术，工艺过程如图7-11所示。 所得涂层的厚度可以在几百纳米到几十微米间变化，即使基体很不平整，还是可以得到非常均匀的涂层。 喷涂法也叫喷雾涂层技术，主要广泛用于工业中的有机喷漆，还用于给形状不规则玻璃(像模压的玻璃部件)镀膜。 喷涂法主要由表面准备、加热和喷涂三部分组成。 薄膜的厚度取决于溶胶的浓度、压力、喷枪速度和喷涂时间。 与浸镀法相比，用喷雾法制备光学涂层有以下几个优点： (1)喷雾的速度可达1m/min，但已是浸镀法的十倍； (2)溶胶利用