硼硅玻璃薄膜的抛光工艺.pdfVIP

第 12 卷 　第 1期 哈 尔 滨 理 工 大 学 学 报 Vo l12 No1 　 　 2007年 2 月 JOURNAL HARB IN UN IV. SC I. TECH. 　Feb. , 2007 　　　　　　 硼硅玻璃薄膜的抛光工艺 1 1 2 赵彦玲 , 　向敬忠 , 　顾玉武 ( 1. 哈尔滨理工大学 现代制造技术与刀具重点实验室 ,黑龙江 哈尔滨 150080; 2. 哈尔滨理工大学 工程训练中心 ,黑龙江 哈尔滨 150080) 摘 　要 : 对硼硅玻璃产品的用途及加工表面质量要求进行了分析 , 以自制抛光机为抛光工具 , 抛光薄膜为抛光膜 ,水作为抛光冷却液 ,通过对大量抛光实验数据的研究 ,拟定了最优的硼硅玻璃 薄膜抛光过程工艺. 该工艺不仅可以满足加工要求 ,而且其冷却液还具有绿色环保作用. 关键词 :硼硅玻璃 ; 薄膜抛光 ; 抛光工艺. 中图分类号 : TH 16 114 文献标识码 : A 文章编号 : 1007- 2683 (2007) 0 1- 0 114 - 04 S tudy on Po lish ing M e chan ism o f Grind ing F iml 1 1 2 ZHA O Yan ling , 　X IAN G J ing zhong , 　GU Yu w u ( 1. The Key L aboratory of A dvanced M anufaitu ring Tech. Cu tting Tools, H arb in Un iv. Sci. Tech. , H arb in 150080 , Ch ina; 2. Engineering Train ing Center, H arb in Un iv. Sci. Tech. , H arb in 150080 , Ch ina) A b stract: The op tim ization techn ique s of the po lish ing p roce ss of boron - silicon gla ss through the re search of m uch po lish ing exp erim en tal data and the analysis of the u se of p roduct of boron - silicon gla ss and the reque st of the quality of m ach in ing su rface are studied. In the exp erim en tswe u se self - m ade po lish ing m ach ine a s the too l of po lish ing, u se the po lish ing film s a s film s, and water is u sed a s coo lan t. Th is techn ic s not on ly can satisfy the re que