项目六、压电式传感器精要.docVIP

班级：年 课 堂 进 程 次序 内 容 1 一、基本工作原理 2 二．压电式传感器的测量电路 3 三、压电式传感器及其应用 4 四、压电式压力传感器实验电路 5 五、小结 6 六、布置作业 7 七、板书安排  Δ复习上节课内容：（略） Δ概述 1880年著名物理学家比埃尔?居里发现了晶体的压电效应，但压电效应的定量数据的获得，是严济慈深入研究并精确测量给出的。 压电传感器的工作原理是基于某些电介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。当介质材料受力作用而变形时，其表面会产生电荷，由此而实现非电量测量。压电传感器体积小，重量轻，工作频带宽，是一种力敏传感器件，它可测量各种动态力，也可测量最终能变换为力的那些非电物理量，如压力、加速度、机械冲击与振动等。 一、基本工作原理 （一）、压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施加力而使其变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上会产生异号电荷，当外力消失后，又重新恢复到不带电状态，这种现象称为压电效应。当作用力的方向改变时，电荷极性也随之改变。当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会发生变形，这种现象称为逆压电效应（或电致伸缩效应）。压电式力传感器都是利用压电材料的正压电效应。 （二）、压电材料 自然界中的大多数晶体具有压电效应，但压电效应十分明显的并不多。天然形成的石英晶体、人工制造的压电陶瓷、锆钛酸铅、钛酸钡等材料是压电效应性能优良的压电材料。 1. 石英晶体 天然石英(SiO2)晶体如图所示，它是一个正六面体，在它上面有三个坐标轴。石英晶体中间棱柱断面的下半部分，其断面为正六面形。z轴是晶体的对称轴，称它为光轴。在该轴方向没有压电效应，x轴称为电轴，垂直于x轴晶面上的压电效应最显著；y轴称为机械轴，在电场的作用下，沿此轴方向的机械变形最显著。如果从石英晶体上切割出一个平行六面体，如图所示，称为压电晶片，在垂直于光轴的力（Fy或Fx）作用下，晶体会发生极化现象，并且其极化矢量是沿着电轴(x轴)。即电荷出现在垂直于电轴(x轴)的平面上。 在沿着电轴x方向力的作用下，产生电荷的现象称为纵向压电效应；而把沿机械轴 y方向力的作用下，产生电荷的现象称为横向压电效应。当沿光轴z 方向受力时，晶体不会产生压电效应。在压电晶片上，产生电荷的极性与受力的方向有关系。上图给出了电荷极性与受力方向的关系。若沿晶片的x轴施加压力Fx，则在加压的两表面上分别出现正负电荷，如图（a）所示。若沿晶片的y轴施加压力Fy时，则在加压的表面上不出现电荷，电荷仍出现在垂直x轴的表面上，只是电荷的极性相反，如图（c）所示。若将x 、y轴方向施加的压力改为拉力，则产生电荷的位置不变，只是电荷的极性相反。如图（b）、（d）所示。值得注意的是纵向(x方向)压电效应与元件尺寸无关，而横向(y方向)压电效应与元件尺寸有关。 2. 压电陶瓷 与石英晶体不同，压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，属于铁电体一类的物质。需要受到极化后才具有压电效应。 压电陶瓷内部的晶体有有一定的极化方向，从而存在一定电场。在无外电场作用时，原始的压电陶瓷内极化强度为零，呈电中性，不具有压电特性。在陶瓷上施加外电场时，材料得到极化。外电场越强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。当外电场去掉时，剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。 极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时。电畴的界限发生移动，电畴发生偏转，从而引起剩余极化强度的变化，因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。如图所示，即极化面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成正比关系。 二．压电式传感器的测量电路 1．压电式传感器的等效电路 由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器，晶体上聚集正负的电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质，则其电容量为 因此，压电传感器可以等效为一个与电容器Ca串联的电压源Ua，如图（a）所示；也可以等效为一个与电容器并联的电荷源q，如图（b）所示。电压Ua，电荷量q和电容量Ca这三者的关系为 常用的前置放大器主要有电压放大器和电荷放大器两种类型。 （1） 电压放大器(略) （2） 电荷放大器 如图，电荷放大器等效电路所示，电荷放大器实际上是一个具有反馈Cf