椭圆偏振光谱法测量单晶硅的光学常数.pptVIP

椭圆偏振光谱法测量单晶硅的光学常数 实验目的 掌握椭偏光测量薄膜的厚度和折射率的原理 学会使用椭圆偏振光和分析单晶硅的折射率、消光系数与波长的关系 实验原理 光是一种电磁波，全面描述光波，除了波长、频率和传播方向外，还需要用振幅、相位和偏振方向。偏振方向分为x方向和y方向两个分量。 自然光 光 线偏振光 偏振光 椭圆偏振光 仪器结构及工作原理 实验仪器 * * 绍兴文理学院数理信息学院 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常, 设介质层为n1 n2 n3, φ1为入射角,φ2和φ3是在膜和衬底中的折射角, 那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉 根据多束光干涉公式，可求出总反射系数Rp和Rs 其中， 式中的λ是光在真空中的波长，d是膜厚。 (1) (3) (2) (4) 菲涅耳反射公式 (5) (6) (8) (7) 在椭偏光法中。一般采用ψ和Δ来描述反射时光偏振状态的变化，定义如下， 其中A和β分别为振幅和位相，下标r和i分别表示反射光和入射光。tanΨ是相对振幅衰减，Δ则是相位移动之差。 (9) (10) (11) （1）-（9）式给出了偏振状态变化（Ψ, Δ）与膜的厚度d和折射率n的关系，这一系列方程可用计算机求解，得到（Ψ, Δ）~（d，n）数值表或曲线图。因此直接由实验结果求得Ψ、Δ、后，查表或图便可得到n和d。 消光，不存在多束干涉效应，反射光中的p波和s波的振幅和位相将发生变化，根据（9）式，若入射角为Φ，膜的折射率n则为 (12) (13) 这样，只要测出某一波长的Ψ和Δ，就可算出相应波长下的n和k值。值得注意的是，运用公式（12）、（13）计算n和k时，膜必须足够的厚方比较准确。 由n和k ?波片 光学性质随方向而异的某些晶体（如方解石等），当光线进入晶体后，一束入射光可以有两束折射光，其中一束折射光的方向遵从折射定律，叫做寻常光线（或O光），另一束折射光的方向，不遵从折射定律，其传播速度随入射光的方向变化，且在一般情况下，这束折射光不在入射面内，叫做非寻常光线（或e光） 双折射 若晶片的厚度d使o光和e光产生π/2的相位差，即 基本原理 EX2椭偏仪采用消光法获得椭偏角（ Ψ,Δ ），基本原理为：（1）测量消光角：波片C的方位角固定，不断调整起偏器P和检偏器A的方位角，使得经样品反射后的偏振光成为线偏振光，其偏振方向与检偏器A的透光轴垂直，此时检测器D上得到的光强达到最小，即消光。在一个周期内（0-180o），存在两对消光角（P01, A01）和（P02, A02）；设P01 ≤P02，则P02 -P01=90o, A01+A02=180o. 实际测量中采用在两对消光角下得到的椭偏角Ψ和Δ值的平均，可以有效地消除系统误差。（2）利用消光角与椭偏角（ Ψ,Δ ）之间的数学关系，就可以计算得到椭偏角 进一步，对样品膜系建立物理模型，再利用直接计算法、查表法、拟合法等分析出样品的信息，如纳米薄膜的厚度d、折射率n和消光系数k等 *