p056 应用於雷射振镜扫描畸变补偿之系统控制设计 ... - 机械工业杂志.PDF

短脈衝雷射加工機制與應用技術專輯 決畸變失真的問題，本研究針對雷射掃瞄系統之 關鍵詞 畸變理論進行分析，透過振鏡系統動態方程式的 推導與系統判別的方式完成系統轉移函數，進而 ．振鏡系統 Galvanometer System 設計適當之控制器以抑制產生的桶形或是枕形畸 ．系統鑑別 System Identification 變。其中為了進行系統鑑別，本研究使用 PSD ．轉移函數 Transfer Function （Position Sensing Diode）元件建構一個雷射 ．畸變失真 Distortion 訊號動態量測系統，用以偵測雷射振鏡系統的動 ．補償 Compensation 態特性，進而求取系統轉移函數的相關係數，建 構完整系統模型。 摘要 In order to achieve light and small specifications, manufactures of many electronic 現今電子產品為求外型輕小，許多電子產品 products were processed through the laser 之製造上都會透過雷射加工技術進行相關製造， machining technology, therefore the traditional 因此已逐漸取代傳統機械加工方式。但是由於系 mechanical processing methods have been replaced 統中包含了光學透鏡與轉動掃瞄振鏡等非線性元 gradually. In various laser machining, scanning laser 件，因此產生了許多的畸變失真的問題。為了解 processing systems had been widely used in industry 56 │ │ 347 期 │ 短脈衝雷射加工機制與應用技術專輯 recently. However, the system includes some 穩定時間要小得許多，在每次移動的時間間隔 non-linear components such as optical lens and 中，振鏡尚未轉動到目標位置，又再度被驅動往 rotational scanning mirrors, results in a lot of 下一個位置，導致雷射掃描的成像產生誤差。 distortion problems. In order to solve the problems 畸變分析係透過振鏡系統動態方程式的推導 of distortion, the laser scanning system analysis, 與系統鑑別的方式將實際的動態系統轉換成數學 compensation and improvement of distortion are 模型，而後設計適當之控制方法縮短振鏡轉動的 investigated in