专题研究周记1 - 专题周记系统.PDFVIP

專題研究週記1 學生姓名: 陳建成 專題研究題目: 射頻功率對濺鍍摻鋁氧化鋅薄膜電性、光學及應力特性之影響 102 年 9 月 23 日 ～ 102 年 10 月 13 日 一、陳述專題研究執行項目 1. 研讀由「電子元件與材料」期刊發行的「射频磁控溅射沉積 AZO 透明導電膜研究」。 2. 研讀由「材料最前線」期刊發行之「氧化鋅鋁 (AZO)透明導電薄膜技術發展與應用」。 3. 研讀校外大學電機系發表專題「以射頻磁控濺鍍法成長氧化鋅摻鋁之電性研究」本文。 4. 研讀由「真空 VACUUM 」期刊發行的「太陽能選擇性吸收薄膜研究進展及展望」。 5. 研讀校外大學機械系發表專題「使用 RF射頻磁控濺鍍氧化鋅鋁透明導電薄膜之研究」本 文。 6. 研讀「透明導電膜的定義」以及「透明導電膜的應用」還有「透明導電膜的備製方法」 。 7. 研讀論文中的「薄膜成長原理」以及 「電漿的生成原理」再加上「濺鍍系統的各種方法」。 二、研究工作進度(細部內容包含已完成及未完成事項 ) 完成項目： 1. 我了解到射頻功率為影響薄膜沉積速率的重要因子，再來是靶材與基板之間的距離，而射 頻功率的增大會使每個氬離子的能量增加，能濺射出更多的靶材原子，並且以較快的速度 飛向基板，不易與其他粒子產生散射，因此可以獲得較高的薄膜沉積速率。 2. 從電性的方面來看，當粒子有充足的能量撞擊 基板，它將會在基板表面產生二次離子濺 射，形成緊密結構，晶粒成長較為完整 ，使晶界數量減少，受到的阻礙也較小，故電阻率 可大幅降低，再來，隨著鍍膜時間與射頻功率的增加，薄膜厚度也會隨之増厚，電阻率因 此降低。 3. 從光學穿透率來看，當靶材與基板距離剛好時，粒子與粒子間的碰撞較不頻繁，粒子有足 夠的能量撞擊基板，並沉積在基板表面，形成緊密的結構，形成完整的晶粒，進而降低薄 膜表面之缺陷，減少光線在薄膜表面造成的散射及漫射，使光穿透率提高。 4. 對於選擇性吸收薄膜而言，當輻射通過薄膜時，其中某一頻率的輻射被粒子選擇性地吸收 而使輻射強度減弱，由低能量向高能量的躍遷，選擇性的吸收輻射光子能量，定義為躍遷 後與躍遷前兩個能階間的能量差，才具有好的選擇吸收性。 5. 目前太陽能的能量利用主要有光熱轉換、光電轉換和光化學轉換三種方式，相較於近年發 展迅速的太陽能光電轉換和光化學轉換技術，太陽能熱轉換技術是研究時間最早，研究過 程最長，研究成果最成熟，也是應用最為廣泛的太陽能技術。 6. 在太陽能熱利用技術當中，太陽能集熱器是將太陽輻射轉變為熱能的重要工具，而太陽能 選擇性吸收薄膜是太陽能集熱器的主要用具，也是太陽能光熱轉換中最關鍵的部分，也是 獲得高光熱轉換效率的重要方式，太陽能熱利用太陽選擇性吸收薄膜，應用在日常生活上 是越來越受到關注。 尚未完成項目： 1. 灰關聯分析、灰關聯的理論、本徵吸收膜的原理說明、電介質-金屬複合材料膜之原理、多 層漸變膜的原理介紹、微不平膜的原理、光干涉膜之原理說明。 2. 閱讀由「真空 VACUUM 」期刊發行的「使用RF射頻磁控濺鍍氧化鋅鋁透明導電薄膜之研 究」之本文內容。 3. 了解「透明導電膜的定義」以及「透明導電膜的應用」再加上「透明導電膜的備製方法」。 4. 熟知「薄膜成長原理」以及「電漿的生成原理」還有「濺鍍系統的各種方法」 。 三、遭遇的問題及解決方案 在這次的專題研究週記當中，我遇到了一些沒有聽過的名詞，像是本微吸收膜、金屬與 電介質複合材料膜、多層漸變膜、微不平膜 ……等等，這些都是我不熟析或是沒有接觸過的 部份，那我就開始找資料，不論是網路上、或是期刊、又或者是論文，有相關的文獻都閱讀， 當然也找到了它的意思、以及熟悉這個名詞。 像是微不平膜，又稱為光學陷阱膜它是採用物理或者化學方法來使表面粗糙化，表面形 成許多類似空洞、蜂窩結構、又或者形成樹枝狀的，微觀上不平整但巨觀上平整的顯微表面， 這個作用是當光束入射到表面時，在這種表面將會進行多次反射，每反射一次，就實現一次 吸收，雖然單次吸收量不多，但多次反射後總的吸收量卻相當高。 而還有多層漸變膜，意思是從表層到底層折射率以及消光係數逐漸增加的若干層光學薄 膜構成的膜