双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程-CORE.PDFVIP

第 9 期 ·工艺与设备·　　　 33 双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程 许高攀 　陈广文 　胡国清 　李志博 厦门大学机电工程系 　福建省厦门市 　361005 　　【摘要】双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ,还有它的特 别之处 :双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ,可以得到比单面接触式电容压力传感器 增大一倍的电容量和灵敏度 ,而且不会因此增加多少成本 ;工作时可靠性更高 , 即使一面失灵还有 另一面可以正常工作。文中就双面接触式电容压力传感器的工艺进行了初步设计。 关键词 :双面接触式电容压力传感器 　原理 　工艺流程 　自停止腐蚀 中图分类号: TP21212 The Design and Fabrication Process of Double Sided Touch Mode Ca pacitive Pressure Sensor Xu gaopan 　Chen Guangwen 　Hu Guoqing Department of Mechanical and Electrical Engineering , Xiamen University ,Xiamen Fujian 361005 　　Abstract :Double sided touch mode capacitive pressure sensor offer better performance in industrial application. Not only does it have the advantage of the single sided touch mode capacitive pressure sensor , but also have higher sensitive and more dependable. With this kind of fabrication process , it will not increase the fabrication cost , but will get one more time capacitive quantity and sensitivity than single sided one. The characteristics and fabrication process of the double sid ed touch mode capacitive pressure sensor was discussed in detail. Key Words :Double Sided Touch Mode Capacitive Pressure Sensor ,Characteristics , Fabrication Process , Silicon - Silicon Bonding ,Self - etch Stop Technique 1 　引言 基底接触 ,当压力变化时 ,通过改变接触面积的大小来 双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接 改变电容量。图 1 给出了典型的双面接触式电容压力 触式电容压力传感器而来的。其工作原理 : 当传感器 传感器的一般结构及其工作的模拟仿真曲线。 ( ) 从图1可以看出 ,双面接触式电容压力传感器有 的受压膜片 即梁 与基底距离很近时 ,膜片受压后与 图 1 　双面接触式电容压力传感器的结构及工作曲线图 4 个工作区 ,第 Ⅰ区是正常区 ,梁未接触到衬底上的绝