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小深孔内径电容式测量方法的研究
小深孔内径电容式测量方法的研究———周兴林 于战果 郑义忠
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小深孔内径电容式测量方法的研究
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周兴林 于战果 郑义忠
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, ,
1.武汉科技大学 武汉 430070
, ,
2.天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 300072
: 。
摘要 采用电容式深孔内径测量仪测量机械加工过程中小深孔的孔径 该测量仪采用直径较小的
, ,
电容探针作为传感器 电容探针通过采用驱动电缆技术消除了杂散电容的影响 将孔径的变化转换为电
, 。
压的线性变化 并通过 USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理 论述了小深孔内径电容
, 。
式测量方法的基本原理 设计了电容式深孔内径测量仪测量小深孔孔径系统的总体方案 该方法特别
, ,
适用于毤1mm~毤7mm深孔的内径自动检测 对毤3mm孔径进行了实际测量 并分析了测量所得到的数
, , 。
据 多次测量的标准差小于0灡5m 测量分辨率为0灡05m
毺 毺
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关键词 小深孔 电容探针 传感器标定 驱动电缆
中图分类号: 文章编号: — ( ) — —
TH711暋暋暋 1004 132X200721 2535 04
ResearchonCaacitanceMeasurementInstrumentforInnerDiameterofDee Holes
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ZhouXinlin 暋YuZhanuo暋Zhen Yizhon
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1.WuhanUniversitofScienceTechnolo Wuhan430070
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2.StateKe Laborator ofPrecisionMeasurin Technolo andInstruments,
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