微电子机械系统的研究现状.PDF

维普资讯 z 微电子机械系统的研究现状 吴桂君 顾支琪 耳1 (中科院 电I研 究所) A 摘 要 在 同一介质上，应用集成 电路擞细加I技术制作 出尺寸在微米范畴的微机械部 件 ，擞传感器，微传动装置并将它们与微 电子线路在一起形成高性能的闭环控制 的 微 电子机械 系统是一门新兴的边缘学科，也开辟 j一个奎新 的I业加I领域。皋文 简述 了微 电子机械系统的研究现状及其基础技术。 集成电路工 垫监垂 一 、 微电子机械系统研究的国内外动态 1988年美国加利福尼亚大学柏克利分校首次应用半导体集成 电路技术在 硅片上 制作出 转子直径仅为 60“m 的静 电微 电机 “J。这在国际学术界引起了极大的轰动。次年 ，在第二届 有关微 电子机械系统 (Microelectromechanicalsysfems)国际学术讨论会上正式确立 了 MEM8 研究的学术地位。从此在 国际范围内科学家们竞相开展了空前活跃的研究。 美国国家科学基金会 (N8F)首先预计了该项研究在 25个方面的重 大应用 ，美国国 防先进研究计划署 (DARPA)也确认 MEMS 研究为一项急需发展的高新技术 。美国国 家科学基金会从 88年至 91年共拨款 2300万美元资助加和J福尼亚大学、麻省理工学院等 八所大学的研究工作。今天美国的科学家不仅 已经制作出各种整体尺寸只有几百个微米数量 级的微型机械部件，如膜片、连接销、曲柄、齿轮、弹簧等”】，并将它们应用剜各类传感器的制 作中，如压力传感器、气体流量传感器，温度传感器和加速度传感器等。在微 电机的研究方 面，他们不断地对微 电机的设计原理、工艺与材料做出改进，不仅提高了原有的静 电微 电机 的性能，而且还开发出了其他类型的微 电机。比如席省理工学院在 90年制作的步进式静 电 微 电机 具有 25000r／rain 的转速 比起加利福尼亚大学 88年研制 出的转速为 12r／nfm 的 同类微电机，技术指标有了很大提高。同时一些其他类型的微 电机也正在研制之中。如超声 微电机 “，它是利用压电陶瓷的压电效应将机械能转变成电能的。还有电磁微电机，它是根 据 电磁 电机的原理，靠平面线 圈电磁力来驱动的电机。这种 电机的总体尺寸 只有 1ram 左 右 ，这是传统的电磁电动机无法比拟的。靠机械谐振振子驱动的具有 6×10r／rain转速的谐 振式微 电机 也研制出来了。同时对于存在于细菌细胞膜上的转子直径仅为 30nm、长度仅 I9g3年8月 19 日收到稿件 1994年 第 2期 ·29 。 维普资讯 为 50rim 的生物微 电机进行了观察与实验，并期望通过对它的致动机理和力学特性 的研究 来促进仿生纳米 电机的研究。除了这些单个部件的研制，美国科学家们已开始 向最初级的微 电子机械系统迈进 ，如进行 了用微型 电机通过连杆来驱动钟表齿轮组的实验。从 87年至90 年已在美国召开了三届关于 MEM8研究的国际学术讨论会。 日本学者 曾于 87年国际传感器会议上与美国学者同时提出了静 电微 电机的原始结构设 计。NEC 公司制作 出了转子直径为 5O 的静 电微 电机。东 芝 公 司…研 制 出 了外径 为 3mm、长度为 5mm 的超小型 电磁 电动机。电机 内装有薄型线圈与轴承，在 2V 电压的驱 动下转速到达 2×10r／rain。东京大学还研制 出超微发动机 ，汽缸容积只有 0．1