微纳技术及微纳机电系统( 上) - 中国物理C.PDF

微纳技术及微纳机电系统(上) 鲍海飞 1. 前言 微纳技术经历了漫长的发展过程， 识、思维方式乃至生活和工作方式 今天，在一个所谓 “云计算” 全世界无数科学家和工程技术人 上的巨大变化，由此带来的影响弥 与 “大数据”到来的时代，人们面 员为之付出了聪明才智和艰辛的 散到整个社会的各个领域，因此， 对着大量的数据信息，不仅需要对 劳动。 人们将我们这个时代称为继 “石器 获取的数据进行传递，而且需要进 微纳技术是今天影响人类思 时代”、 “青铜器时代”、 “铁器 行处理和分析。之所以如此，是因 想、认识和社会发展的一项重要技 时代”之后的一个崭新的时代—— 为人们已经能够将信息的获取从分 术，因为它不仅仅是简单传统技术 “硅器时代”。 散、断续、孤立的点扩展到整体、 的延续和改良，也不是经典物理原 当一种器件或技术应用到一 连续、相关的面或体上，即从“点式” 理或者概念的简单扩展和应用，同 定程度，并面临着社会的迫切需求 扩展到“网式”，从宏观延伸到微观， 样它不只局限于某个领域和学科， 时，考虑到器件的制造、更换、成 并能够以更精细的分辨、更快的速 而是弥散到整个社会的各个领域之 本、寿命，以及综合性能等因素时， 率和在更大的尺度上来获取数据。 中，并且是以多种技术融合为标志 就需要对器件和技术进行相应的创 在这个过程中，信息获取的前端传 的新型综合技术。微纳技术以经典 新。在这个过程中，一种是延续已 感器做得越来越小，人们能够在微 力学、量子力学、分子动力学等理 有的技术，进行简单的结构上缩小， 米、纳米的尺度上来获取大量且多 论为理论基础，以全新的材料研究、 在缩小尺寸的过程中，受到技术、 样化的信息（如力、热、声、光、电、 观察、制备手段为出发点，如原位 原理和经济本身的限制，往往会遇 磁等）。因此今天，人们把器件做 分子膜层的生长和控制；以全新大 到难以逾越的鸿沟。这时，探索新 小的意义已经不言而喻了，体积减 批量可重复的加工制造进行大规模 路可能会有意想不到的重大突破。 小后的器件不仅质量轻、便于携带， 生产，如集成电路和微机电系统的 晶体管和集成电路（IC ）的研制就 而且具有更高的灵敏度、精度以及 加工制造等。微纳技术的研究，开 是在这样一种背景和理念下被提出 更大的应用范围。第二次世界大战 始了人类对自然一个新的研究和认 来的，从基础研究入手，在研究固 结束后，在1946 年，美国制造的 识的过程，也是自我认识和再认识 体中的电子控制行为以取代电子 第一代电子计算机——ENIAC ，是 的重要过程，引导了新的物理原理 管的研究过程中被发明创造的；微 个庞然大物，长约30 m，宽约1 m， 和模型的构建，而一些经典的物理 纳机电系统（MEMS/NEMS,Micro/ 高约2.5 m ，重达28 t ，由18800 原理和模型需要修正或改进以适应 nano electromechanical system ）也 只电子管组成，功耗为200 kW ， 微纳米尺度下的现象和效应。微纳 是在这一过程中，在研究固体中的 每秒钟只能进行5000 次运算。如 技术为人类提供了先进的研究工具 应变、腐蚀等行为的基础之上开辟 果不把这些电子管换成今天的晶体 和手段，为人类探索、观察和揭示 的一种全新的微纳机械加工制造的 管和集成电路的话，就没有今天人 以前没有观察、认识到的现象和规 方法。针对微纳米领域，在全新的 手一部的手机和iPAD 之类的便携 律创造了条件，也进一步拓展了人 研究方式、制造方式和工作模式下， 式电子设备。从电子管的计算机到 类认识世界的深度和广度。它所形 在器件的尺度不断缩小的过程中， 今天以晶体管为主的计算机，从固 成的生产力直接改变了加工制造 尤其是到了微米纳米尺度，人们不 定电话到移动通讯，再到因特网， 和生产模式，导致了人们研究、认 但发现了微纳尺度下很多有趣的问 25 5 ( 149 ) •45 • 卷第 期 总 期 题和现象，并且发现了相当广泛的 或者《底层淘金》。其大致内容是： 纳米技术包含了与材料、器件和系 应用和前景。当器件结构或系统做 在微观世界有很多待挖掘的东西， 统相关的由于具有纳