探针台测试系统方案-北京美亚先科技有限公司.PDF

北京美亚先科技有限公司 BEIJING MEIYAXIAN TECHNOLOGY CO. LTD 探针台测试系统方案 Version 1.0 北京美亚先科技有限公司 联系人：Michael Song，Steven Wang 您好！感谢您关注我们的推荐的分析探针台。下面简单介绍一下我们公司以及探针台的有关配置 与价格，供您参考。如有疑问请随时与我联系。 台湾奕叶（EverBeing）探针台介绍 “ 奕叶国际有限公司从1991年起即专注于半导体及电子产业测量领域应用研发，多年来不断生产改 良，成为亚洲历史最悠久的探针台及相关配件制造商之一，是亚洲的专业技术领先的先驱，并且 市场占有率遥遥领先的（在台湾市场已达到占有率第一），更关键的是品质可与欧美产品并驾齐 驱。可为客户提供专业、实用、便利及经济性的手动分析探针台，包括：晶圆探针台、LCD探针 台、LED探针台、LD/PD探针台、PCB探针台、FPC探针台、四点探针台、探针座、探针杆、探针、 低噪声Triaxial配线、Triaxial接头、加热吸盘、极冷吸盘(超低温吸盘)、激光切割机、防震桌、 防震垫、屏蔽箱等产品……适用于电子微电子、物理、光电、材料、化学、生命与生物、纳米、 微机电MEMS等科研教学、半导体产业等应用。 EverBeing 高性能分析探针台 奕叶(EVERBEING)国际有限公司，从 1991 年起即专注于半导体及电子产业的应用开发，是宝岛台湾历史最 悠久的探针台及相关配件制造商，已成为该领域专业技术之先驱，在台湾市场占有率约为 80%，是无可争 议的第一，近几年在国内应用也已非常普及。奕叶探针台系列产品质量可与欧美产品并驾齐驱，甚至可为 客户量身定制特殊的分析探针台，而价格却平易近人具有极高的性价比，并得到了半导体相关的科研与产 业界客户的认可，成为亚洲先进的手动分析探针台的典范，形成了“国际质量,合理售价,永续服务,创新 应用”的经营理念。 探针台即 Probe Station，广泛应用于半导体相关的科研与产业界，包括电子/微电子，机电/微机电 /MEMs ，物理，化学，材料，光电，纳米，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及 IC 设计/制造/测 试/封装、LED、LCD/OLED/AMLCD/AMOLED、LD/PD、PCB、FPC 等生产制造领域。 奕叶(EVERBEING)专注于手动分析类探针台，是将先进的精密机械加工、电子测试、显微成像、温度 控制（高低温控制）、噪声抑制、甚至微弱信号测试、射频微波测试等技术综合的高技术产品。我们以晶 圆探针台为例，介绍一下探针台的主要组成部分。如图所示：  工作平台 -- 上面放置手动调节的探针座 (可选常用的移动精度为几微米的探针座，也可选采 用瑞士螺纹技术精度达 0.35 微米的高灵敏度探针座，而且弈叶是亚洲最早采用这项技术的公司)， 有固定平台和可上下升降平台两种；  载物台 Chuck -- 一般为圆形，根据样品尺寸选择载物台尺寸如 4、6、8、12，在上面可 放置被测晶圆、器件等样品。利用在载物台内部设计好的抽气孔，外接一台真空泵即可将样品吸附 在载物台上实现样品的固定；载物台可以在 X/Y 方向移动，也可上下升降，以实现对样品灵活与精 确的定位；  显微成像装置 -- 主要由显微镜与可选的 CCD 成像或激光修复仪等组成。放大倍数要求不高， 选择简便的体视显微镜，价格也便宜；更多的情况建议选择灵活方便的金相显微镜，如图所示由镜 北京美亚先科技有限公司  北京市朝阳区裕民路 12 号元辰鑫大厦 E1 座 321 室（100029） 8610 Fax 8610 北京美亚先科技有限公司 BEIJING MEIYAXIAN TECHNOLOGY CO. LTD 体、目镜、物镜及调节装置构成，放大倍数在几倍-上千倍可调节；位置可在 X/Y/Z 方向上精细调节； 为便于观察样品及摄录样品的图像，越来越多的系统选配 CCD 成