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PSS制程技术 ROY .HE 2010.05 .11 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 目录 PSS概述 PSS 在LED 中的应用 PSS 在LED 中的实现方式 PSS制程难点及其解决方法 总结 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 PSS概述 PSS 是Patterned Sapphire Substrate 的简称, 即图 形化蓝宝石基板,此技术可以有效的减少差排密 度, 还可提升光取出效率. PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 PSS 在LED 中的应用 1. 有效的减少差排密度,减少外延生长缺陷,提 升外延片品质. 2. 改变LED 光学路线,提升LED外部量子效应. PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 PSS 在LED 中的实现方式 这项技术主要有wet etching和Dry etching 两种实现方式. PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 一． Wet etching 实现PSS 原理 由于SiO2 在浓硫酸和浓磷酸 中被高温腐蚀时是各向同性 的，Al2O3 因为其结构的原 因（如图2.17）被腐蚀时是 项异性的， 所以当发现图形边缘由圆变 直时，表明已经开始腐蚀蓝 宝石衬底了，可以调节腐蚀 时间控 图形的大小. 图蓝宝石结构示意图， ●：O2-；○：Al3+ PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 二． Wet etching flow 利用硫酸(H2SO4 ，重重百分浓度96 % ) 与磷酸 (H3PO4 ，重量百分浓度86 % ) 两种酸性混合液体依 各重混合比例调 所需之蚀刻溶液，并使用厚度 5000 的二氧化矽( SiO2 ) 做为蚀刻阻挡层( hard mask ) ，以保护所定义图形. PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 三． 溶液配比及蚀刻温度对图形的影响 不同硫酸磷酸体积比于不同蚀刻温度下之蚀刻轮廓. PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 四．不同图形对LED 光电特性的影响 c d b 图2.23 不同图形 （平面衬底a,三棱台 图2.24 不同图形 （三棱锥a，球冠 b，三棱锥c，球冠d）的衬底上生长GaN b，三棱台c，平面衬底d）的衬底上生长GaN 外延层的XRD曲线 基LED器件的出光功率随注入