犆犗2激光对熔石英表面小尺寸损伤的修复-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ ９ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．９ 　 　 年 月 ， ２０１０ ９ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｓｅ． ２０１０ 　 ｐ 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１００９２２０９０５ 　 犆犗２激光对熔石英表面小尺寸损伤的修复 李熙斌， 吕海兵， 向 霞， 王海军， 陈 猛， 王成程， 袁晓东， 郑万国 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 ６２１９００） 摘 要： 利用 的 激光对不同直径的点状损伤和不同宽度的划痕进行了修复。经过波长 １０．６ ｍ ＣＯ 　　 　 　 μ ２ ３５１ｎｍ的紫外激光考核发现，对于直径小于 ８０ ｍ的点状损伤和对于宽度小于 ４０ ｍ的划痕，随着损伤点尺 μ μ 寸和划痕宽度的增加，修复后阈值提高程度逐渐降低。划痕的宽度在达到 ４０ ｍ以后修复效果非常微弱。修 μ 复过程中，由于作用时间较短及温度分布不均产生了热应力导致样片损伤以后产生径向裂痕，后续的紫外激光 会使裂痕明显扩展。当样品被置于高温退火炉内退火 ３ｈ以后，应力导致开裂的现象得到了解决。 关键词： ＣＯ 激光； 熔石英； 热应力； 损伤修复 　　 　 　 　 　 ２ 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ２２０９ 　　 　 　　　　 　 　　 　　在高功率固体激光器的运行过程中，光学元件的表面分布着大小不一的损伤点和划痕，这些损伤是在熔石 英材料的抛光过程或使用过程中形成的，如果不及时抑制或消除，会严重危及光学系统的正常运行，提高运行 ［ ］ １３ 成本。近年来，损伤问题已经逐渐成为负载能力提高的瓶颈 。元件的材料和抛光材料的选择，抛光过程的 控制，镀膜工艺，前期洁净处理工艺都影响到负载能力的提高，激光预处理正逐渐发展成为一种有效提高光学 元件使用寿命的手段。美国的ＬＬＮＬ实验室和法国的ＣＥＡ实验室一直走在该领域的前列，他们利用紫外激 ［ ］ ［ ］ ４８ ９１０ 光预处理和远红外激光预处理延长元件使用寿命，提高损伤阈值 。在国内，也有相关文献报道