金属与半导体肖特基接触势垒模型及其载流子传输机制的 ... - 材料导报.PDFVIP

金属与半导体肖特基接触势垒模型及其载流子传输机制的研究进展／李亚鹏等 · · ５７ 金属与半导体肖特基接触势垒模型及其载流子传输机制的研究进展 １ ２ １ １ ２ １ 李亚鹏 ，李颖峰 ，贺志荣 ，郭从盛 ，闫群民 ，徐 峰 　 （ 陕西理工大学材料科学与工程学院，汉中 ， 陕西理工大学电气工程学院，汉中 ） １ ７２３００１２ ７２３００１ 　 　 摘要　　肖特基结具有整流特性，在整流器和光电检测等电子元器件制造中有极其重要的应用，重点介绍了相关研究人员在 金属与半导体肖特基接触势垒的形成机理、相关数学模型及其影响因素等方面的研究进展。有研究表明，肖特基势垒的形成主要 是由于费米能级的钉扎，而费米能级钉扎则源于界面新相的形成或界面极化键的存在。同时，在肖特基势垒的相关模型中，热电子 激发模型是目前应用最为广泛的、用于解释界面载流子传输机制的肖特基接触势垒模型。随着对接触界面载流子传输机制的深入 研究，热发射 扩散、热场发射等载流子传输机制模型相继被研究者提出。另外，相关研究表明，快速退火处理可导致肖特基接触界  面处的原子扩散、重排、新相生成等现象，对肖特基接触的稳定性产生重要影响。 关键词 肖特基结 势垒模型 载流子传输机制 接触界面 快速退火 　 　 　 　 　　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ３６２ Ａ 犇犗犐１０．１１８９６．ｉｓｓｎ．１００５０２３Ｘ．２０１７．０３．０１０ 　　 　　 ｊ 犘狉狅狉犲狊狊狅犳犛犮犺狅狋狋犽 犆狅狀狋犪犮狋犕狅犱犲犾犪狀犱犆犪狉狉犻犲狉犜狉犪狀狊狅狉狋犕犲犮犺犪狀犻狊犿犪狋 犵 狔 狆 狋犺犲犐狀狋犲狉犳犪犮犲犅犲狋狑犲犲狀犕犲狋犪犾犪狀犱犛犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉 １ ２ １ １ ２ １ ， ， ， ， ， ＬＩＹａｅｎ ＬＩＹｉｎｆｅｎ ＨＥＺｈｉｒｏｎ ＧＵＯＣｏｎｓｈｅｎ ＹＡＮＱｕｎｍｉｎ ＸＵＦｅｎ ｐ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， ， ； １ ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＳｈａａｎｘｉＳｃｉＴｅｃｈＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｈａｎｚｈｏｎ ７２３００１２ ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌ 　 　 ｇ ｇ ｙ