TC R矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响.pdfVIP

第44卷 第6期 激 光 与 红 外 V01．44．No．6 2014年6月 LASER INFRARED June，2014 文章编号：1001-5078(2014)06-0629-04 ·红外技术及应用 · TCR矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响 邱宇峰 ，金 晶 ，翟厚明 (1．上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系，上海 200072； 2．中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室，上海 200083) 摘 要：VO，薄膜的电阻温度系数 TCR(TemperatureCoefficientofResistance，用 Ot表示)随温 度改变会发生显著变化。因此，以VO 薄膜为热敏材料的非制冷探测器微桥像元采用 1／一 (一 ，2)曲线来测量微桥热导时，如果使用固定TCR数值，必然会对测量结果带来偏差。本文 采用 TCR逐点矫正的方法测量 了非制冷微桥热导，并分析 了有效热导，实验 中的最大热导矫 正率达到20．08％。采用本方法可使非制冷探测器微桥的热导测试结果更为准确，也更具有 实际应用价值。 关键词：非制冷探测器；热导；有效热导；电阻温度系数；微桥 中图分类号 ：TN219 文献标识码 ：A DOI：10．3969／j．issn．1001—5078．2014．06．008 EffectofTCR correction onmicrobridgethermalconductance testforuncooleddetectors QIUYu—feng一，JINJing，ZHAIHou．ming (1．DepartmentofElectronicInformationMaterials，SchoolofMaterialsScienceandEngineering， ShanghaiUniversity，Shanghai200072，China； 2．KeyLaboratoryofInfraredImagingMaterialsandDetectors，Shanghm InstituteofTechnicalPhysics， ChineseAcademyofSciences，Shanghai200083，China) Abstract：TCR (Temperaturecoefficientofresistance，O／)oftheVO2thinfilmchangeswithtemperature．Sowhenthe thermalconductanceofVO2microbridgepixelistestedbyusingthe1／R(一 )curvemethod，certaindeviationOC— cursiftheTCR istreatedasaconstant．Thetestonthemicrobridgethemr alconductanceoftheuncooleddetectoris carriedoutbyusingtheTCRcorrected1／R一(一 )curvemethodandeffectivethemralconductanceisanalyzed． Thebiggestcorrectionratioreached20．08％ intheexperiment．Thismethodmakesthethemr al conductancetestof theuncooleddetectormor