一种斑马型压电俘能器的有限元分析.pdfVIP

隶a叶姣2012年第25卷第8期 ElectronicSci．＆Tech．／Aug．15．2012 一 种斑马型压 电俘能器的有限元分析 吴 昊，李开宇 (南京航空航天大学 自动化学院，江苏 南京 210016) 摘 要 提出了一种新型的俘能结构，其是利用压电效应并应用于微机电(MEMS)领域的设计。通常有效的能量 捕获装置包括：悬臂梁类型的金属基层及与之粘结的较薄压电层 ，从而引起谐振响应。越短的悬臂梁其谐振频率越 大。因此在微机电领域中，由于较小的结构使得悬臂梁难以形成共振。文中针对此问题提 出了一种可以降低 自身谐振 频率的新型几何结构。对这种斑马型几何结构，利用Ansys仿真软件求解得出其在微机电领域内也可以接近发生共振。 关键词 微机电；悬臂梁；谐振频率；有限元分析 中图分类号 TM38 文献标识码 A 文章编号 1007—7820(2012)08—043—03 FiniteElementAnalysisonZigzagTransducers WU Hao．LIKaiyu (CollegeofAutomation，NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，China) Abstract Thispaperaddressesanissueinenergyharvestingthathasplaguedthepotential useofharvesting throughthepiezoelectriceffectatthemicro-electro—mechanicalsystems(MEMS)scale．Effectiveeneryg harvesting devicestypicallyconsistofacantileverbeam substratecoatedwithathinlayerofpiezoceramicmaterialtoresonantat thedominantfrequencyoftheambientvibration．Thefundamentalnaturalfrequencyofabeam increasesasitslength decreases，SOthatattheMEMSscaleresonanceoccursordersofmagnitudehigherthanambientvibrationfrequen— cies，renderingtheharvesterineffective．Here，weproposeanew geometryforMEMSscalecantileverharvesters withlow fundamentalfrequencies．Tothiszigzagconfiugration，weproveditcandecreaseitsresonanttoambientby ANSYS． Keywords MEMS；piezoceramicmaterial；resonance；ansys 悬臂梁型能量捕获装置利用金属基片与压电层粘 以使其振动 。不恰当的厚度长度 比导致了谐振频率较 结，当装置的谐振频率与周围环境频率一致时可产生 大的结果 【卜 ，郑青龙使用了两个梁的结构，一个在顶 最大的输 出电压，同时也使得压电材料的应力最大化 。 端，另一个和其上下有一定距离，用以支撑质量块。这 由于现有MEMS振动能量捕获装置的悬臂梁较短，使 种结构既轻又坚韧，但谐振频率却达 10kHz。 其谐振频率较大，这也是限制MEMS振动能量捕获装 Fangeta1．是第一个试 图利用较低厚度长度 比 置发展的一个瓶颈。 (1／100)梁的人。其有效降低了谐振频率(600Hz)文 近年来关于无线传感网络及以能量获取为主题的 献[9—10]显示了此领域的发展趋势，得到的谐振频 文献较多，