扫描电镜工作原理.doc

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中国地质大学(北京) 课程结业报告 《扫描电子显微镜》 学院:珠宝学院 专业:宝石学 学号:2009110039 姓名:代会茹 日期:2011年11月3日 联系电话扫描电子显微镜读书报告 一、扫描电镜的工作原理 扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,最后停止运动,并被样品吸收。在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能,而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。如图1所示,这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备就是通过这些信号得到讯息,从而对样品进行分析的。 图1 入射电子束轰击样品产生的信息示意图 从结构上看,如图2所示,扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、探测、信号处理、显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。 图2 扫描电子显微镜结构图 由图3我们可以看出,从灯丝发射出来的热电子,受2-30KV电压加速,经两个聚光镜和一个物镜聚焦后,形成一个具有一定能量,强度和斑点直径的入射电子束,在扫描线圈产生的磁场作用下,入射电子束按一定时间、空间顺序做光栅式扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用,从样品中激发出的二次电子通过收集极的收集,可将向各个方向发射的二次电子收集起来。这些二次电子经加速并射到闪烁体上,使二次电子信息转变成光信号,经过光导管进入光电倍增管,使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大,并将其输入到显像管的栅极中,调制荧光屏的亮度,在荧光屏上就会出现与试样上一一对应的相同图像。入射电子束在样品表面上扫描时,因二次电子发射量随样品表面起伏程度(形貌)变化而变化。 故视频放大器放大的二次电子信号是一个交流信号,用这个交流信号调制显像管栅极电,其结果在显像管荧光屏上呈现的是一幅亮暗程度不同的,并反映样品表面起伏程度(形貌)的二次电子像。应该特别指出的是:入射电子束在样品表面上扫描和在荧光屏上的扫描必须是“同步”,即必须用同一个扫描发生器来控制,这样就能保证样品上任一“物点”样品A点,在显像管荧光屏上的电子束恰好在A’点即“物点”A与“像点” A’在时间上和空间上一一对应。通常称“像点”A’ 为图像单元。显然,一幅图像是由很多图像单元构成的。 扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。 在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。扫描电镜样品制备的主要要求是:尽可能使样品的表面结构保存好,没有变形和污染,样品干燥并且有良好导电性能。 图3 扫描电子显微镜成像原理图 二、扫描电镜及配套设备的用途 (一)扫描电镜的用途 通过样品中的电子激发出的各种信号,扫描电镜可以做出电子图像分析,如可利用二次电子进行样品表面形貌及结构分析的分析;以两片探测器信号做积分运算,通过背散射电子可以分析样品表面成分像,以两片探测器信号做微分运算时,则可用于样品表面形貌像德分析;此外,通过透射电子则可对析晶体的内部结构及晶格信息进行分析。 扫描电镜的用途很广,除了能做电子图像分析以外,配上其它一些配套设备,还可做显微化学成份分析,显微晶体结构分析,显微阴极发光图像分析,这更加扩大的扫描电镜的广泛应用度。常见的扫描电镜配套设备主要有:x射线波谱仪、x射线能谱仪、结晶学分析仪、阴极发光图像分析仪等。 (二)配套设备及其用途 1、X射线波谱仪(WDS): 具有一定能量、聚焦很细的电子束轰击样品时,样品受轰击微区内的物质会发射出多种电子信息、x射线。不同元素发射出的特征x射线在波长、能量方面是各异的。波谱仪利用分光晶体对特征x射线产生的衍射效应,可分别测出特征x射线的波长,从而确定原子序数,即确定受击发微区内所含有的化学元素种类。若把所含元素在一定时间内所发射出来的特征X射线强度累加起来再与标准样品在相同时间内所发射出来的特征X射线的强度作对比,排除干扰因素,就可得出每种元素的百分比重量。这就是X射线波谱仪的定性,定量分析。 X射线波谱仪的分析项目: (1)点分析:通过对点进行定性分析,可以获知所含元素的种类;通过对点进行定量分析,则可得出所含元素的种类及其重量百分值。 (2)线分析:通常以计数方式和百分比重量的方式表示,两种表示方法均为半定量分析。 (3)面分析:也是以计数方式和百分比重量的方式表示。 2、X射线能谱仪: 具有一定能量、强度、聚集很细的电子束轰击样品时,不同元素发射出来的特征X射

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