基于MEMS技术的植入式柔性多触点平面电极阵列.pdfVIP

第 l2卷 第 3期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．12 No．3 2014年 5月 NanotechnologyandPrecisionEngineering May2014 DOI10．13494／j．npe 基于MEMS技术的植入式柔性 多触点，It、平-而I-taMr电I：) 极阵列 李璨文，王守岩 (中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 ，苏州215163) 摘 要：为提高植入式电极阵列的分辨率，降低生物组织损伤，保证其在生物体 内稳定工作，本文提出了一种基于 聚对二 甲苯(ParyleneC)的柔性多触点平面 电极阵列．该 电极为 ParyleneC／Au／ParyleneC3层结构，共 24个通道 ． 电极采用标准MEMS工艺加工，触点分布精确，轮廓清晰，表面平整 ，粗糙度为23．8nm．为评估电极的工作性能，采 用磷酸缓冲液 (PBS溶液)模拟生物组织液，对电极阵列进行了电化学阻抗测试及循环伏安测试．测试表明，电极在 100Hz与 1000Hz的阻抗值约为400kn与 50kll，满足记录 电极对阻抗 的要求 ，同时，不 同通道之间具有 良好 的一 致性．此外，对随机选取的一个通道进行的循环伏安法测试表明，电极在刺激模式下具有 良好的可逆性．对组织无 影响，该通道的电荷储存能力约为650txC／cm ，与文献报道 电极相当． 关键词：神经调控；聚对二甲苯 ；电极阻抗 ；电荷储存能力 中图分类号：TP212 文献标志码：A 文章编号：1672—6030(2014)03-0217-05 ImplantableFlexibleM ulti-ContactsPlanarElectrodeArrays BasedonM EM STechnology LiJingwen，WangShouyan (SuzhouInstituteofBiomedicalEngineeringandTechnology，ChineseAcademyofSciences，Suzhou215163，China) Abstract：Inordertoenhancetheresolutionofimplantableelectrodearray，minimizetissuedamageand ensurestabilityinvivo，thispaperproposedamuhi—contactsflexibleelectrodearraybasedonParylene C．Theelectrodearrayincludes24channels，withaParyleneC／Au／ParyleneC sandwichstructure．The electrodearraywasfabricatedwithmicroelectromechanicalsystems(MEMS)technology，whichenables accuratedistributionofcontacts，excellentprofilesandtopography，withroughnessof23．8nm．Tofur— therevaluatetheelectrodeperformance，electrochemicalimpedancespectralmeasurementandcyclicvol— tammetrymeasurementwereconducted，withPBSsolutionastissuefluid．Theimpedanceis400kFZand