脉冲激光烧蚀技术的研究现状和进展.pdf

第 卷第 期 光 电 子 技 术 26 2 Vol.26No.2 年 月 2006 6 OPTOELECTRONIC TEC~NOLOGY Jun.2006 专题介绍 脉冲激光烧蚀技术的研究现状及进展 徐 兵 宋仁国 戴丽娜 邓小雷 (浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室 杭州 310014) 摘 要 介绍了脉冲激光烧蚀技术的原理 特性及研究现状 并对其发展前景进行了展望 同: ~ O 时将该项技术分为纳秒激光烧蚀 皮秒激光烧蚀和飞秒激光烧蚀这三个阶段 并且介绍了该项技术~ O 在纳米材料方面的应用O 关键词 脉冲激光烧蚀 现状 前景: ; ; 中图分类号: 24 文献标识码: 文章编号: 1005-488 (2006)02-0138-05 TN A X Research status and development of pulsed laser Ablation technology - - - XU Bing SONG Ren guo DAI Li na DENG Xiao lei (The mOE Ke}lcbolctol}of melhcnzlc mcnufcltulzng cncautomctzon Zhejzcng UnzUelSzt}of Telhno og} Hcng hou 310014 CHN) Abstract This paper presents a summary on the theory the properties and the research status of: pulsed laser ablation technology as well as the prospect of the development of this technology In this pa- . per the technology is sorted into three stages nanosecond laser ablation picosecond laser ablation and : ~ femosecond laser ablation Then its applications in nano materials are introduced. - . Key words pulsed laser ablation state prospect: ; ; laser ablation PLA )就是一种最近发展起来制备纳 引 言 米粒子 纳米粉和纳米薄膜的高端技术 正是由于脉~ O 自1960年第一台激光器问世以来 人们对激光 冲激光烧蚀技术的重要性和诱人的前景 使其成为 的特性进行了研究 由于激光具有高能量密度 高单 ~ 当今世界上的研究热点之一O 色性 高相干性和高方向性等性能 从而使其在各个~ 领域得到了广泛的应用O 1 脉冲激光烧蚀技术的原理和特性 近 年来 激光制造技术已渗入到诸多高新技 20 术领域和产业中 并开始取代或