上海化工研究院（环评机构）受上海昭和电子化学材料有限公详解.PDFVIP

上海环境热线 上海化工研究院（环评机构）受上海昭和电子化学材料有限公司（建设单位）委 托开展对上海昭和电子化学材料有限公司年产 10 吨高纯度氟化氢气体项目的环境影 响评价。现根据国家及本市法规及规定，并经上海昭和电子化学材料有限公司同意向 公众进行第二次信息发布，公开环评内容。 本文本内容为现阶段环评成果。下一阶段，将在听取公众、专家等各方面意见的 基础上，进一步修改完善。 上海环境热线 1、建设项目概况 1.1. 建设地点及相关背景 （1）建设地点 上海化学工业区北银河路 28 号（F4 地块），上海昭和电子化学材料有限公司现有 厂区内。 （2 ）项目背景 上海昭和电子化学材料有限公司（以下简称“昭和电子”）位于上海化学工业区北 银河路 28 号，为日本昭和电工株式会社的子公司，主要经营电子工业用特殊气体除 害装置的制造、再生；电子工业用高纯度气体、化学品的制造、纯化、分装；销售及 检测各种高纯气体、化学品。 昭和电子拟投资 500 万人民币，建设年产 10 吨高纯度氟化氢气体项目，主要产 品为高纯度氟化氢气体，纯度在 99.99% 以上。 高纯度气体、化学品被用于集成电路芯片、液晶显示屏、光纤、太阳能电池以及 半导体发光二极管等的成膜、刻蚀、清洗，以及液晶屏、镜头等的清洗上，是电子产 业必不可少的重要原材料。电子工业作为尖端技术及高附加价值产业对其他产业的影 响极大，是在整个国民经济中具有巨大战略意义的关键性技术产业，中国已经将其视 为国家的重点发展的产业。 我国是低纯度（99% ）氟化氢气体的生产第一大国，但高纯度氟化氢气体（99.99% ） 却主要依赖进口，本项目的建设，将改变高纯度氟化氢气体依靠进口的局面，为国内 高端集成电路制造业提供更为稳定可靠的原材料供应。 1.2. 建设内容、生产工艺、生产规模、建设周期和投资 1、建设内容 项目在现有纯化车间内建设，不新增用地和建筑物，仅在纯化车间内增加氟化氢 纯化相关装置。 辅助工程、公用工程、贮运工程依托现有。 环保工程中，危废暂存、废水处理依托现有；鉴于项目废气主要污染物为氟化氢， 为保证废气的深度处理，降低项目废气对区域环境及敏感目标的影响，企业综合考虑 物料特性，新建一套干式 Ca(OH)2 尾气处理装置和一套 KOH 淋洗塔，形成两级处理 系统，用于处理本项目生产废气。 1 上海环境热线 新建 KOH 淋洗塔排放的含氟废水，送至现有中和除氟装置处理。 事故应急：项目消防系统、事故池依托现有，仓库事故应急处理依托仓库泄漏应 急洗涤系统（NaOH 淋洗），车间事故应急处理利用新建KOH 淋洗塔。 项目工程组成见表 1。 2 、生产工艺 向纯化器中加入低纯度氟化氢和20%F /N ；经除水后，再通过蒸馏除去低沸点不 2 2 纯物，将物料转至成品罐；最后将氟化氢液体充填至钢瓶中，分析合格后外售。 项目生产工艺见图 1. 图 1 工艺流程图 3、生产规模 年产 10 吨高纯度氟化氢。 4 、项目投资 项目总投资约 500 万元，环保投资约 77 万元，占总投资额 15.4%。 5、建设周期 项目建设周期预计三个月。 表 1 项目工程组成表 类别 名称 内容和规模 备注