电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积捏磷氧氮薄膜详解.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 一 一 文章编号 一 电子 回旋共振 等离子体辅助溅射沉积捏磷氧氮薄膜 , , , 李驰麟 ‘ 傅 正 文 ‘ 舒 兴胜 任 兆杏 复旦 大 学化 学 系激 光化 学研 究所 , 上 海 市分 子 催化 和 功 能材 料 重 点 实验 室 , 上 海 中 国科 学院 等 离子 体物 理 研 究所 , 合 肥 摘 要 用 电子 回旋共振 等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锉离子传导 的锉磷氧氮 薄膜 射线光 电子能谱 、 扫描 电子 显微镜 、 紫外可见 吸收光谱等手段表 征 了在 不 同 功率辅助 下沉积 的薄膜 结果 显示 , 等离子体对磁控溅射沉积薄膜 的生长 有 明 显 的影 响, 能够提高 的插入量 , 改变薄膜 的组成与结构 但是过 高的 功率反 而 易破坏 薄膜 的结构 , 不利于 的插入 最佳 的实验条件是在 辅助 下沉积 的 薄膜 , 它 的 电导率约为 “ 讨论 了 对 沉积 薄膜 的 插入 机理 · 关 键 词 锉磷氧氮薄膜 溅射沉积 电子 回旋共振 锉离子传导率 中图分类号 文献标识码 引言 提 高无机 电解 质薄膜 的铿 离子 导 电性是 当前发展 全 固态 薄膜锉 离子 电池 的核 心 问题 , 自美 国橡树 岭 国家实验 室 ‘ 等发 现 了铿磷氧氮 薄膜 以来 , 与 一 一 、 一 一