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低电阻p_DBR结构的模拟分析
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低电阻p-DBR结构的模拟分析
马丽娜,郭霞,盖红星,渠红伟,
董立闽,邓军,廉鹏,沈光地
(北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京 100022)
摘要:设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器 (DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对
价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带
势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻
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