表面微构造的硅材料———一种新型的光电功能材料！.PDFVIP

前沿进展 表面微构造的硅材料———一种新型的光电功能材料! 赵! 明! ! 苏卫锋! ! 赵! 利 （复旦大学物理系! 应用表面物理国家重点实验室! 上海! #$$’ ） 摘! 要! ! 在()* 气体氛围内用飞秒激光照射硅表面，可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构，形成“黑 硅”新材料+ 初步研究表明，这种“黑硅”新材料对波长为#,$—#,$$-. 的光波有大于/$0 的吸收，同时它还具有相 当好的场致发射特性+ 由于具有这些奇特的光电性质，这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板 显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值+ 关键词! ! 飞秒激光，微构造，“黑硅” !#$%’$(#’($)* +#%,———- ,). ’/0) %1 %0’%2)+)#’$%,# 3-’)$-+ 1234 56-7! ! (8 9:6;):-7! ! 1234 6 （!# $%’( )* +,-./0. ，1$ 2- 3$4)%$)%- )* 5## 6/7 18%* $0 10/(0 ，987$( :(/;%./- ，1,$(,$/= #$$’ ，,/($ ） 45’$-#’6 6 3==?@ AB @C=D @D6E:@ CF: G::- BA=.:H A- IC: @J=BK: AB @6L6KA- G? KJ.JLI6F: B:.IA@:KA-H L@:= DJL@: 6==H6I6A- 6- - ()* I.A@DC:=:+ MC: G@A=G-K: AB L67CI G? @6L6KA- N6IC .6K=A@I=JKIJ=:H @J=BK: 6@ D; D=AO6.I:L? /$0 IC=AJ7CAJI IC: =:76A- B=A. IC: JLI=F6AL:I （#,$-. ）IA IC: -:= 6-B==:H （#,$$-. ）+ MC: @C=D @D6E:@ BA=.:H A- IC: @J=BK: J@6-7 B:.IA@:KA-H L@:=;KC:.6KL :IKC6-7 =: L@A 7AAH B6:LH;:.6II:=@+ 96IC 6I@ .P6-7 ADIA:L:KI=A-6K D=AD:=I6:@ ，@J=BK: .6K=A@I=JKIJ=:H @6L6KA- @CAN@ D=A.6@6-7 DAI:-I6L DDL6KI6A-@ 6- IC: .-JBKIJ=: AB @AL= K:LL@ ，ADIA:L:KI=A-6K H:I:KIA=@ ，BLI H6@DL?@ -H @A BA=IC+ 7)/ .%$*6 6 B:.IA@:KA-H L@:= ，@J=BK: .6K=A@I=JKIJ=6-7 ，Q GLKE @6L6KA- Q ! ! R//% 年，哈佛大学5PJ= 教授研究组在飞秒激 光与物质相互作用研究的过程中，发现利用飞秒激 光在一定气体环境下照射硅片可在硅表面激光辐照 区产生微米量级的尖峰结构［R］+ 至R/// 年，他们发 展了这种微观构造硅表面的新技术———利用飞秒激 光在一定气体环境下刻蚀硅，制备出具有一定刻蚀 面积的新材料，原本是灰色有光泽的硅表面在刻蚀 过的地方肉眼看去完全变成了黑色（如图R 所示）， 因而这种新的硅材料也被称为“黑硅”（GLKE @6L6; 图R! ()* 气体中飞秒激光刻蚀硅表面得到的“黑硅”样品 KA- ）+ 利用扫描电子显微镜（(V5 ）观测发现，“黑硅” ［ ］ 意 ，R/// 年的 (K6:-I6B6K 3.:=6K- 杂志，X6@KAF:=