X射线能谱仪成分分析（EDS) 机理.PPTVIP

薄膜材料成分分析方法 到目前为止，对薄膜结构和成分分析的研究方法已达一百多种。但它们具有共同的特征：利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，从样品中发射或散射粒子波，他们可以是电子、离子、中性粒子、光子或声波，检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特性，或波的频率、方向、强度、偏振等情况，来分析材料化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。 薄膜成分分析方法介绍 按探测“粒子” 分类，表1列出一些薄膜成分分析方法。 常用成分分析方法介绍 重点介绍如下： 离子作为探测束 的成分分析方法 X射线作为探测束 的成分分析技术 离子作为探测束的表面分析方法 离子散射谱分析 以离子作为探测束，与靶原子进行弹性碰撞。根据弹性散射理论，分析散射或背散射所携带的有关靶原子的信息，得到最表层的信息。离子散射谱一般分为两种： a.离子散射谱(ISS):低能离子散射谱； b.Rutherford背散射谱(RBS):高能离子散射谱。 离子散射谱(ISS)分析 机理：用低能(0.2－2 keV)的 惰性气体离子与固体相互作用时，可发生弹性散射和非弹性散射两种情况。选择入射离子的能量，使之低于某一数值后可以使其与表面主要发生弹性散射。 通过对散射离子能量进行分析就可以得到表