氧化错基氧传感器对抽气空气系统的低真空测量.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 文章编号 一 序 一 氧化错基氧传感器对抽气 空气 系统 的低真空测量 孙 成 文, 陈 深 , 杨 芝洲 中 国科 学院 上 海硅 酸 盐 研 究所 土 海 , 一 “ 摘 要 应用 稳定 氧浓差 电池 在 测定 抽气 空气 系统 、 的浓差 动 实验得 出, 池 动 被 空 统残 压 中氧对大气氧 电 势 电 电 势 与 抽真 系 余气 的对数有 线性关系 伽 句, 线性方程斜率和理论值 几 接近 , 误 差 兰 测量 电 动 势灵敏度 随压 力 降低 而增 加 , 因此适 宜用于低真空测量 关 键 词 低真空测量 , 氧化忆稳定氧化错 , 氧化错氧传感器 , 氧化错氧浓差 电池 中图分类号 文献标识码 引言 抽 气 系 统 的真 空 度 通 常 用 压 力表 示 , 近 代真 空技 术涉及 测 压 范 围宽达 个 数 量 级 一 , ” 、 常选 用 几种不 同类型 的真空计分别测定 由于 各种真空计在 测 压 原理 上存在 · , ,