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半導體工作常用英文單字
No 英文單字 中文解釋
1 Abort 取消
2 Accept 接受
3 Action 行動
4 Add 增加
5 ADI(after develop inspection) 顯影後目檢
6 AE(Assist engineer) 助理工程師
7 Air Shower 空氣潔淨室,用來清除附著在物體上的物
質
8 Alarm 警告
9 Alignment 對準 ；校準
10 AMHS 傳輸系統
11 Anneal 回火
12 APC 先進製程原理:生產過程中用來檢測缺陷
13 Area 區域
14 Arm 手臂
15 ASL(Assistant Shift leader) 副領班:輔助領班
16 Audit 稽核
17 Auto 自動
18 Auto mode 自動模式
19 Auto(on line) 全自動連線
20 Automatic 自動
21 Back Up 備用/支援
22 Backside 背面
23 Bay 走道
24 Bay Rack 貨架:機台旁放置的架子
25 Broken 破片
26 BZ-OFF(Buzz- off) 嗡嗡聲關掉
27 C/T(cycle time) 生產週期
28 Cancel 取消
29 Carrier(FOUP) 盒號
30 Cart 推車:協助搬運之推車
31 CD(critical dimension) 線寬 、洞徑
32 Certify ( Qualify) 取得資格
33 Chamber 反應室
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