设施及运转摘要 - NSRRC.PDFVIP

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2017-06-18 发布于天津
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设施及运转摘要 - NSRRC.PDF

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设施及运转摘要 - NSRRC

10 設施及運轉摘要 8-9 BL24A (TLS) BL05A (TPS) 800 grooves/mm 41A X X BL23A X / pole figure 8-9 X X 2013 1 ~ 8 3,178 99.6 % EUVL TLS 0.1 % 0.2 % 96.8 % 19 99.3 % (2013 9 3 7 2013 12 30 ) 16 1 2 3 4 5 6 7 8 ( ) 136 31 616 568 448 592 554 233 (%) 99.4 97.3 99.4 99.6 99.9 99.5 99.9 100 ( ) 68 15.5 88 142 448 98.7 554 233 ( ) 0.37 0.33 0.36 0.5 0.47 0.46 0.3 0 0.2 % 98.7 81.4 98.7 99.5 99.7 99.2 99.8 99.5 (%) 0.1 % 96.8 80.2 93.6 97.7 98.7 98.6 99.1 98.6 (%) 2013 1~8