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HfO薄膜生长应力演化研究
第 卷 第 期 光 学 学 报 ,
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文 章编 号 一
薄膜生长应力演化研究
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中国科 学 院上 海 光 学精 密机 械研 究所 上 海 中 国科 学 院研究生 院 北 京 。。
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