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无机材料常用测试技术 主要内容 • 扫描电镜（SEM） • 透射电镜（TEM） • 扫描隧道显微镜（STM） • 原子力显微镜（AFM） • X射线衍射（XRD） 透射电镜(TEM)基本原理 Transmission Electronic Microscopy 透射电镜基本构造与光学显微镜相似，主要由 光源、物镜和投影镜三部分组成，只不过用电子束代 替光束，用磁透镜代替玻璃透镜。光源由电子枪和一 或两个聚光镜组成，其作用是得到具有确定能量的高 亮度的聚焦电子束。 造 镜 构 电 的 射 透 电子透镜系统 电子透镜系统 真空系统 真空系统 供电系统 供电系统 光学显微镜和透射电镜光路图比较： 光源 电子枪 聚光镜 聚光镜 试样 试样 物镜 物镜 中间象 中间象 目镜 投影镜 毛玻璃 观察屏 电镜的成像光路上除了物镜和投影镜外，还增 加了中间镜，即组成了一个三级放大成像系统。 物镜和投影镜的放大倍数一般为100，中间镜的 放大倍数可调，为0－20。中间镜的物平面与物镜的 像平面重合，在此平面装有一可变的选区光阑。荧 光屏、光学观察放大镜及照相机等组成观察系统。 透镜的成像作用可以分为两个过程： 第一个过程是平行电子束遭到物的散射作 用而分裂成为各级衍射谱，即由物变换到 衍射的过程； 第二个过程是各级衍射谱经过干涉重新在 像平面上会聚成诸像点，即由衍射重新变 换到物(像是放大了的物)的过程。 晶体对于电子束就是一个三维光栅。 近代高性能电镜一般都设有两个中间镜，两个投影镜。三级放 大成象和衍射成象示意图如图所示： 物镜 ×100 衍射谱 选区光阑 一次象 中间镜 ×20 二次象 投影镜 ×100 ×2⋅105 （a ）高放大率 （b）衍射 在电子显微镜中，物镜产生的一次放大像还要经过中间镜和投影镜的放大作用而得到 最终的三次放大像。 电镜构造的 两个特点 1、磁透镜 2、因为空气会使电子强烈地散射，所以凡有电子运行 的部分都要求处于高真空，要达到1.33 ×10－4 Pa或 更高。 光学显微镜中的玻璃透镜不能用于电镜