异质PN结的整流特性.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’% $## ， ， ， [J 5’% \J 5 ‘B $## （ ） ###:0$H#1$##1’% # 180$:#’ 7V27 PI^+_V7 +_\_V7 $## V=3. 5 P=a 5 +JF 5 （ ， ， ） ! % ’() + ,-) ! / 0 1 . 0 1 #2 0 1 03 # $ ! ! * . 异质 结的整流特性! 4( 李 彤 李驰平 张 铭 王 波 严 辉! （北京工业大学材料科学与工程学院，北京 ###$$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $##% $ $## ’ 采用磁控溅射法制备的 （ ） 异质 结表现出很好的整流特性 室温电流电压特性曲线 () +, -./ (+-/ 123/ 4. 5 * ! ! 0 $ 显示随着 掺杂的增加，扩散电压增大，这可能由于 掺杂的增加导致载流子浓度增大所致 电流电压变温特性 +, +, 5 曲线显示随着测量温度的降低，扩散电压增大，这可能由于随着测量温度的变化导致界面电子结构的变化所致5 值 得提出的，异质4. 结电阻随温度变化曲线表现出单层(+-/ 的金属绝缘相变特性，并且在低测量温度时表现出随 着测量温度的降低结电阻增大，这可能是由于宽带隙的23/ 的引入导致5 $ 关键词：异质结，整流特性，庞磁阻 ： ， ， 5677 0%#6 0$#7 08#( 度的整流特性 需要强调的是我们采用的是磁控溅 5 G 引 言 射方法，这种方法适于大面积沉积并与电流微电子 技术一致5 ［］ 自从 年， 等人 发现 HH0 ID;JC () K) -./