尺蠖型压电直线电动机制作及性能测试.pdfVIP

… ． 堕焦鱼 … !蔓竺塑 ……………………………… … 尺蠖型压 电直线电动机制作及性能测试 李■全—一松T (中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 ，长春 130033) 摘 要：为了实现机械元件的高精密驱动，设计和研究了一种应用 自然界中尺蠖原理的压电驱动直线电动机， 完成压电直线电动机的样机制作并对其进行了试验测试。试验结果表明，制作和测试的尺蠖型压电直线电动机工 作行程20mm，最大驱动力38N，在驱动电压200V时，具有最大的运动步长35．15 m，步长稳定性误差小于3％， 在驱动电压为 10V时，实现最小的运动步长20nm。电机在无负载状态，驱动频率30Hz，驱动电压200V时达到 的最大驱动速度484．2Ixm／s。该电机具备 良好的工作性能，在精密驱动领域具有广泛的应用前景。 关键词：精密驱动；压电叠堆 ；直线电动机 ；尺蠖运动 中图分类号：TM359．4 文献标志码：A 文章编号：1004-7018(