PSD传感器的原理及应用.PDFVIP

PSD 传感器的原理及应用 - 19 - ●应用与设计 PSD 传感器的原理及应用 东北电力学院 高经伍 赵凤华 The Princi le and A lication of PSD p pp Gao Jin wu Zhao Fen hua g g 摘要 : 介绍了由日本滨松公司研制开发的一种能提供感光表面连续移动光点位置信号的 S3271～ 3274 系列光电子位置敏感传感器 PSD , 指出了该系列 PSD 器件的性能指标、使用条件以及注意事 项 , 最后分别给出了利用这些 PSD 传感器来进行液体浓度测量、固体硬度测量以及两平面相对平 行度测量的方胆和示意图。 关键词 :PSD ; 传感器 ; 测量 ; S3271 ; S3274 ( ) 1 分类号: TP2 2. 14 文献标识码 :B 文章编号 :1006 - 6977 2002 08 - 0019 - 02 ●可减少来自日光和日光灯的干扰; 1 概述 ( ) ●极间电阻高 对于 S3271～S3274 系列 ; ( ) 日本滨松公司生产的硅PSD 是一种能在其感 ●响应速度高 对于 S3271～S3274 系列 ; 光表面连续移动光点位置的光电子传感器。PSD ●可以同时测量位置和强度; ( Position Sensitive Detector) 是位置敏感检测器。它分 ●检测数据只与光点的能量中心有关; 为一维 PSD 和二维 PSD 两个类型产品。 ●可靠性高。 硅 PSD 是由一个或两个具有均匀阻抗表面组 PSD 以其诸多优点可广泛应用于光学位置和角 成的 PIN 光电二极管 , 它与分立元素探测器相比具 度的测量与控制、远程光学控制系统、位移和振动监 ( 有位置分辨率高、反应电流简单、快速 与光点位置 测、激光光束校准、自动范围探测系统以及人体运动 ) 有关 等优点。另外 ,该 PSD 的位置信号数据与光点 及分析系统等。 在探测器上的形状无关。 另外 , 利用 S3271～3274 系列 PSD 还可以进行 滨松公司可以提供各种不同的作用面积、不同 照相机的自动对焦、距离测量、位置测量以及接近开 尺寸和封装形式的硅 PSD 。