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双等离子体离子源的工作特性
网络出版时间:2014-01-20 15:12
网络出版地址:/kcms/detail/22.1341.T1512.008.html
第43 卷 第*期 吉 林 大 学 学 报(工学版) Vol.43 No.*
2013 年*月 Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition) *. 2013
双等离子体离子源的工作特性
1 1 2 1 1
邱春玲 ,曾小辉 ,龙 涛 ,包泽民 ,王培智
(1. 吉林大学 仪器科学与电气工程学院, 长春 130022;2. 中国地质科学院地质研究所, 北京 100037)
-
摘 要:针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响,产生的 O 离子束亮度不稳定的问题,设计和
搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统,以SHRIMP II 上的双等离子体离子源为对象,通过实验和仿真
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模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对O 离子束亮度的影响规律。结果表明:该离子源能够稳定工作在放
电电流大于50mA,气压为110~170mTorr 的条件下;当气压为140mTorr,放电电流为200mA,磁场强度为0.25T
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时,获得的O 离子束亮度能够达到52.4A/cm ·sr。合理控制离子源工作参数,可以增大O 离子束亮度,提高二次
离子质谱的横向分辨率和灵敏度。
关键词:二次离子质谱;双等离子体离子源;离子光学系统;亮度
中图分类号:TB773 文献标志码:A
Operating Characteristics of Duoplasmatron Ion Source
Qiu Chun-ling 1,Zeng Xiao-hui 1,Long Tao 2 ,Bao Ze-min 1,Wang Pei-zhi 1
(1. College of Instrumentation Electrical Engineering, Jilin University, Changchun 130022, China;2. Institute
of Geology, Chinese Academy of Geological Sciences, Beijing 100037, China)
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Abstract: The brightness of the O beam gene
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