第六章激光干涉测长技术.pptVIP

第六章 激光干涉测长技术 自从1802年杨氏（Thomas Young）首先用实验方法研究光的干涉现象以来，对光干涉的本质及其应用研究已延续近200年的历史。激光的出现和计算机技术，微电子技术的发展给光干涉技术注入了新的活力，并已成为现代光学中一个重要的分支。激光干涉测量技术不仅被广泛用于对物体长度、角度、形状、位移等几何量的测量，还可利用其测量原理对物理量（如形变、速度、振动等）及光学系统特性（如象差，光学传递函数）等进行测量。 一、激光干涉测长的基准 1975年召开的第十五届国际计量大会“要求国际计量局和各国研究所继续对这些引起辐射（指甲烷和碘稳定的氦氖激光波长）进行研究”。 由于稳频技术的进展，甲烷和碘稳定的氦氖激光波长值的稳定性和再现性都很高，因之有可能取代86Kr的波长而作为长度的自然基准。在1979年6月召开的国际“米”定义咨询委员会第六次会议上，已提出了一个“米”定义的建议草案。建议将“米”定义为“平面电磁波在1/299792458秒的时间间隔内在真空中传播的距离”。 二、几种典型的布局 1．使用角锥棱镜反射器的干涉系统。 （1）图（a）结构的主要特点是反射光束不能反馈回激光器。缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而且加工精度要求高。 （2）图（b）结构只用一个角