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原料和掺杂对钛酸锌陶瓷烧结及介电性能的影响.pdf
第 35 卷 增刊 3 稀有金属材料与工程 Vo 1.35 , Suppl.3
RARE METAL MATERIALS AND ENG削EERING December 2006
2006 年 12 月
th
The 6 East Asia Conference on Chemical Sensors
Thin Film Nanocomposites for Gas Sensors
l 2 3 2 l
巳S.Rembeza ， S.I.Rembeza , B.M .sinelnikov , T.V.Svistova and E.P. Domashevskaya
(1. Voronezh State University , Universîty s件， 1394006 Voronezh , Russîa)
(2. Voronezh State Technical Unîversity , Moscow av. ,Voronezh , Russia)
(3. North Caucasian State Technical Unîversity , Kulakov av. , 2355029 Stavropol, Russia)
巳mail: rembeza@phys.vsu.ru
Abstract: Nanocomposites on the base of thín films Sn02 wíth additives of metal oxides such as Si0 , Zr02 , Mn02 and
2
others , were prepared by reactive ion-beam sputtering of metal target in the ambient of 02 + Ar , and then thermal treated
at 500C. Atomîc compositíon and morphology of thin film nanocomposites were ínvestigated. Electrical propertîes and
gas sensitívity of nanocomposites were studíed. It was determíned that the grain size of polycrystals depends on the film
composîtion and can run down to 10 nm. It was found that temperature ofmaximal gas sensitivìty ofthe films depends on
theîr composition as well and it can be
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