微型声频定向换能器阵列指向性研究.pdf

第34卷第4期 压 电 与 声 光 Vo1．34No．4 2012年O8月 PIEZOELECTRICS8LACOUSTOOPTICS Aug．2012 文章编号 ：1004—2474(2012)04—0553—04 微型声频定 向换能器阵列指向性研究 李学生 ，徐利梅 ，陈 敏 ，许亮峰 ，缪建民。 (1．电子科技大学 空天科学技术研究院，四川 成都 611731；2．诺基亚中国研究中心，北京 100176；3．南洋理工大学 MEMS中心，新加坡) 摘 要 ：通过对微型声频定 向换能器阵列的指 向性参量研究，设计并制造 了基于微机电系统 (MEMS)的锆钛 酸铅 (PZT)薄膜换能器阵列，为声频定向扬声器的发声部件微型化提供了一种可行的实现方法。从理论上分析了 阵元半径、阵元个数和阵元中心间距等结构参数对指向性的影响，确定各阵元正方形排列可获得预期的圆柱形声 音传播空间，阵元数量越多，声波指向性越强，并指出当阵元间距约为波长的 1／2时，旁瓣抑制效果最明显。最后 对微型MEMS换能器阵列实物做指 向性测试 ，实验结果与理论分析结果基本一致 。 关键词 ：声频定 向扬声器 ；微机 电系统 (MEMS)；锆钛酸铅 (PZT)薄膜 ；换能器阵列；指 向性 中图分类号：TN64 文献标识码 ：A ResearchontheDirectivityofM icroAudioDirectionalTransducerArray LIXuesheng ，XU Limei，CHEN M in ，XU Liangfeng ，MIAO Jianmin。 (1．InstituteofAstronauticsandAeronautics，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu611731，China； 2．NokiaResearchCenter，Beijing100176，China；3．MEMSCenter，NanyangTechnologicalUniversity，Singapore) Abstract：A MEMS-basedPZT film transducerarrayhasbeendesignedandfabricatedtoverifythefeasibilityof miniaturizationoftheemitterintheaudiodirectionalloudspeakerthroughresearchingtheparametersofthedirectivi— tyofmicroaudiodirectionaltransducerarrayinthiswork．Theeffectsoftheradius，quantitiesandspaceofthearray elementsonthedirectivityhavebeenanalyzedtheoretically．Theresultsindicatethattheelementsshouldbearranged inasquaretorealizetheexpectedcylindricalsoundbeam andmoreelementscanresultinbetterperformanceofdi— rectivity．Whenthespacingbetweentwoelementsareapproximatetoahalfofwavelength，theamplitudeoftheside lobesaresuppressedmosteffectively．Intheend，thedirectivitycharacteristicoftheMEMS-basedmicroarrayhas beentestedandtheexperimentalresultsaregoodwiththetheoreticalresults． Keywords：audiodirectionalloudspeaker；MEMS；PZT thinfilm ；transduc