微压力接触式台阶仪的结构设计与实验研究.pdfVIP

第 25卷第 5期 机 电产品研笈 薪 V01．25，NO．5 2012年 9月 Development＆ InnovationofMachinery＆ElectricalProducts Sep．，2012 文章编号 ：1002—6673 (2012)05—074—03 微压力接触式台阶仪的结构设计与实验研究 袁会敬 (河北省激光研究所 ，河北 石家庄 0510081) 摘 要：介绍 了一种基 于光 电检测原理的高精度接触式二维轮廓检 测仪。该仪 器将 CCD成像检 测技 术与接 触式检测技术有机的结合起来，通过狭缝成像方式代替进 口容栅和磁栅 ，实现对工件 的高精度尺 寸检测，具有接触压力小 ，成本低等优点。实验测得 ，仪器最小分辨率为 1m，多次测量重复精 度为-+5bun。 关键词 ：光 电检测 ；狭缝成像 ：接触压力 中图分类号：TP27 文献标识码 ：A doi：10．3969／i．issn．1002—6673．2012．05．029 M icroPressureContactTypeLevelM eterStructureDesign andExperimentalStudy YUANHui一 n (HebeiinstituteofLaser，ShijiazhuangHebei0510081，China) Abstract：Thispaperintroducesamethodbasedonphotoelectricdetectionprincipleofthehighprecisionnon—contact2D contourmeasur— inginstrument，TheapparatusofCCD imagingdetectiontechnologyandnon—contactdetectiontechnologycombinedwithorganic，through theslitimagingmodalifiestoreplaceimportedcapacitivegratingandmagnetic d，theworkpiecetOachievehighaccuracysizedetection， havingacontactpressureissmall，low costadvantages Experimentalmeasurement，instrumentminimum resolution of1 m，repeated mea— surementrepeatabilityaccuracyis±5LLn1． Keywords：photoelectricdetection；slitimaging；contactpressure 我单位新研制的微压力接触式台阶仪 ，结构简单 ， 0 引言 I l 工作稳定 ，在对工件进行测量的同时，对数据进行统计 微压力接触式台阶仪是基于汽车金属缸垫及金属板 J 处理 ，操作方便。实现柔性工件的表面尺寸的高精度检 冲压件表面形貌检测研究而开发的一款低成本 、高精度 ‘测及形貌再现 ，替代进 口产品而广泛应用与各种柔性垫 的测量仪器。汽车金属缸垫等薄片型冲压零件具有易形 I 片的生产加工过程 中．为中小企业提升产品质量提供技 变、表面结构及形貌复杂等特点，利用常规的高度仪检 l术保障。同时这种检测技术可以推广到其它的对接触压 测时施加压力大．对工件造成形变，很难进行准确的测 力敏感的应用领域及非接触测量领域 。 量，对此类零件的检测一直依赖进 口的表面轮廓仪等设 l 1 系统组成