微惯性测量组件关键技术研究.pdfVIP

篓 溅 蠛 萋 第31卷第2期 测量运动物体的线运动参数，它的输出与运动物 3 微惯性测量组件工作原理 体的运动加速度成正比信号，进而解算出运动物 微惯性测量单元产品的研究与开发涉及惯性 体的位置与速度等参数，其工作原理是基于牛顿 测量技术、MEMS制造技术、先进微组装技术、系 的经典力学定律。MEMS陀螺仪用于测量运动物 统级封装技术等，是一项多学科交叉的研究课题。 体的角运动参数，进而解算出运动物体的姿态角 微惯性测量单元由三个 MEMS加速度计、三个 参数，其工作原理是基于科里奥利效应。微惯性 MEMS陀螺仪、用于信号转换、校正、补偿、接 口等 测量组件的原理框图如图2所示。 信号处理的电路组成，其中MEMS加速度计用于 图2 MIMU原理框图 4 微惯性测量组件研制所涉及的关 x、Y轴之间遵循右手法则。以英国BAE公司的 SiIMU产品为例，其结构与轴向示意如图3所示。 键技术及解决途径 在图3中采用了旋转式正交支架。与传统的 传感器正交排布方式比较，旋转式正交排布方式 微惯性测量组件是一个三轴六 自由度 可获得较大的抗过载能力，并在 x轴上可获得惯 (DOF)的立体结构电子集成组件，不仅对构成 性传感器量程的倍测量范围。 MIMU的MEMS惯性传感器性能、MIMU信号处 在精确设计三维＼三轴结构设计的基础上，必 理性能有很高的要求，而且在机械结构方面也有 须实现精密装配，才能确保它们的轴向精确定位， 严格的要求，因此，MIMU研制所涉及的关键技术 否则会引人较大误差、无法获得性能优 良的惯性 包括结构设计与精密装配、参数标定与误差补偿 测量性能。在精密装配方面，首先要确保基板的 技术、MIMU测试评价、环境适应性试验等方面。 平整度和几何尺寸的精度，其次要设计必要的组 4．1 MIMU三维＼三轴结构设计与精密组装技术 装定位标志、对准标志及轴向测量标志；最后通过 MIMU包含三个传感器轴向结构，每一个转 优化微组装工艺流程与工艺参数设计、配合水平 感器轴向上装有一个加速度计、一个陀螺仪和温 定位装置与垂直定位装置工装，实现MIMU三维、 度传感器，三轴之间互为正交关系，并且z轴与 三轴高精度组装。 第31卷第2期 芝 谶 瓣要 图3 MIMU结构与轴向示意图 4．2 MIMU参数标定与误差补偿技术 水平的限制，不能完全真实地描述出误差特性。 MIMU中各传感器的误差对其测量结果的有 采用试验的方法建立数学模型不受主观认识的影 效性有直接的影响，但误差的存在又是不可避免 响，但必须具备精确的测度手段，并且要获得大量 的。这些误差，一方面是 MEMS器件本身结构不 的测试数据，否则也难以真实地反映出误差特性。 完善引起的：如在 MEMS惯性敏感结构的加工、 对于随机误差模型则需要采用时间序列分析法来 组装与封装过程中存在工作机理、加工精度误差、 进行建模，用概率统计的方法分析随时间变化的 残存应力等方面的原因所致；另一方面是由于工 随机过程，先对测