微机械桥型压控振荡器.pdfVIP

维普资讯 l4 中国科学 E辑 技术科学 2004，34(1)：14~19 微机械桥型压控振荡器术 韩建强 朱长纯 赵红坡 刘君华 邵 军 (西安交通大学电信学院，西安 710049) 摘要 设计制作 了一种由电热激励／压敏电桥拾振的二氧化硅／硅双层微桥谐振 器及其闭环谐振 电路实现的高 Q值微机械压控振荡器．通过调节压敏电桥的桥 压，改变桥的平均温升和轴向应变，可调节压控振荡器的中心频率．理论计算和 实验结果表明，输 出信号的频率与桥压的平方具有 良好的线性关系．对所测试的 器件，其线性度为0．16％，振荡频率可调节范围与振荡频率的比值为 17．15％． 关键词 压控振荡器 微桥 谐振器 微机 电系统 压控振荡器(voltage．controlledoscillator)可以将 电压信号转换为频率信号， 其输 出的频率信号与输入的电压信号成线性关系．对于一个性能 良好的压控振 荡器，它应具有 良好的频率稳定性、宽的频率可调节范围以及均匀的压控线性． 压控振荡器种类繁多，诸如晶体VCO，LCVCO，多谐VCO和微波VCO等．其中， 晶体VCO最为稳定，这是因为它是具有高Q值的机电器件．但是，其频率只能在 串联谐振频率和并联谐振频率之间的一段狭窄范围内变化(1％以下)，线性度也 较差，限制了其应用领域．为解决以上问题，本文提出一种微机械压控振荡器， 它是利用电热激励 ／压敏电桥拾振的硅 ／二氧化硅微桥谐振器及其闭环谐振电路实 现的．通过调节压敏电桥的桥压大小，改变桥的平均温升和轴 向应变，从而调节 压控振荡器的频率． 1 压控振荡器工作机理 1．1 桥谐振器工作机理 桥谐振器是由单 晶硅和生长在其上的二氧化硅薄膜构成的两端固支梁．其 结构俯视图和剖面图如图 1所示．梁的中部制作有激励电阻尺，靠近固支端处扩 硼形成等臂Wheatstone电桥．工作时在激励 电阻上加载直流电压 和正弦交变 2003—06-16收稿，2003．09．05收修改稿 国家 自然科学基金(批准号5oo77Ol6)和教育部博士点基金(批准号：98O69828)资助项 目 SCIENCEIN CHNIA Ser．ETechnologicalSciences 维普资讯 维普资讯 维普资讯 维普资讯 18 中国科学 E辑 技术科学 第34卷 25 24 N 23 Z 22 2l 20 l0 2O 3O 4O 5O u N 图3 压控振荡器振荡频率和控制电压 图4 VCO输出信号波形 的关系曲线 与振荡频率的比值为 17．15％．计算时所取材料参数如表 1所示． 为确定系数 ，固定桥压为 6V =1V 测试得Udc=1．014V时，厂bl= 22．892kHz，Udc=1．7V时，厂h1=21．228kHz．固定激励电压为 =1．5VUac=1V ． 测试得 U=4V 时，厂h1=24．244kHz，U=7V 时，厂b1=20．698kHz．计算得 = 3．447．假设理论直流控制电压为 9．4864V时的理论谐振频率与测试值均为 24．8 kHz，利用(12)式计算的理论谐振频率如图3所示．实验 曲线和理论计算值之间的 最大误差为 19．57％． 表 1 材料参数i～ 实验曲线和理论计算值之间误差产生的原因在于：(i)模型本身有一定的 近似，例如谐振频率的计算公式忽略了转动惯量、剪切形变和非线性(大振幅)效 应．(ii)经 KOH深腐蚀形成的梁表面并不十分平整，对热传导和梁的力学特性 有一定的影响．(iii)梁厚度测量存在约 2％的误差．(iv)理