微机电系统的研究与应用.pdfVIP

244 江 西 化 工 2014年第 1期 微机电系统的研究与应用 肖 顺 (南昌航空大学，江西 南昌 330063) 摘 要：概述了微机电系统的结构和特点，并介绍了MEMS传统加工工艺以及应用领 域。 关键词：微机电系统 微细加工技术 微传感器 微执行器 微机 电系统 (micro—electro—mechanical。简称 息进行感知、识别、控制和处理 的微 型机 电装置。 MEMS)一词源于美国，日本称为微机械 (micro—machi- MEMS主要包括三个部分，即微型传感器、执行器和相 ning)，欧洲称为微系统 (microsystem)是指利用微电子 应的处理电路。自然界的各种信息作为输入信号首先 精细加工手段制造微米量级内的设计和制造技术。美 通过微传感器转化成 电信号，经信号处理后再由微执 国北卡罗纳州科研三角园主任克伦 ·马卡斯说过：“微 行器对外界发生作用。微传感器能实现能量的转化， 系统就像塑料一样到处都用，像细菌一样无孔不入。” 从而将加速度和热等信号转换成系统能够处理的电信 因此微系统将成为2l世纪最具挑战性 的科学技术领 号。微执行器就是根据信号处理来控制电路发出的指 域之一 ，它将使人类认识 、改造世界的能力有巨大的突 令，自动地完成人们所需要 的各种功能。信号处理部 破。同时，微机电系统作为新兴的高新技术产业 ，将成 分能够根据控制电路来进行信号的转换、放大及计算 为世界瞩 目的最具潜力的科学技术之一。 等处理。MEMS系统还能通过光、电、磁等形式与外界 1 微机电系统及其特点 进行通讯 ，并显示输出信号，或与其它系统协同工作， 微机电系统是指外形轮廓尺寸在毫米量级以下， 从而构成一个更加完整的系统。图1为 MEMS系统与 构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米 外部世界的相互作用示意。 量级(10一～10 m)，可对声、光、热、磁、运动等 自然信 传 执 ]l模拟信号II模拟信号lI模拟信号I 处 理广-1处 理广_1处 理广 感 行 器 与其它舭6Is的通信 (接口) 器 (光／电／磁) 图 1 MEMS系统与外部世界的相互作用示意 MEMS具有如下特点： 微电子器件集成于一体所组成的MEMS具有更高的可 (1)微型化：微系统器件的体积小、重量轻、能耗 靠性和稳定性。 低、惯性小、谐振频率高、响应时间短； (5)方便扩展：MEMS技术采用了模块设计，当扩 (2)以硅为主要材料的MEMS器件，其机械电气性 展系统容量时，就不需要预先计算所需器件／系统数 ， 能优 良； 直接增加器件／系统数量即可，这样使扩展容量更加高 (3)可批量生产：利用硅微加工工艺在一块硅片上 效便利。 可同时实现上千个微机械部件或完整 的MEMS的制 (6)多学科交叉：微机电系统本质上是一种典型的 造 ，从而大大降低生产成本。 多学科交叉的前沿性的研究，集电子、材料、机械、信息