微机电系统课程教学改革的思考.pdfVIP

豳蟹譬盈豳圈团 2012年第11卷第5期 微机电系统课程教学改革的思考 口唐道武 【摘 要】为了能在较短的时间内让学生了解微机电系统的基础理论和应用，本文对微机电系统课程的特点做 了一些分析，从 微机 电系统课程教学内容、教学方法、考核方式和师资队伍建设等方面进行 了一些探讨。认为微机 电系统课程教学 应该精选理论教学内容，重视实验教学，充分利用现代多媒体教学，采取多元化 的课程考核方式，加强对学习过程的 考核，不断提高教师素质 。发挥好教师的引导作用。 【关键词】微机 电；教学改革；教学方法 【基金项 目】本文为华北科技学院教育科学研究基金资助项 目“面向微机电系统的教学内容改革的探索”阶段性研究成果。 【作者简介】唐道武(1969一)，男，山东粱山人；华北科技学院成人教育学院副院长，副教授；研究方向：机械工程 一 、 微机电系统特点及课程 是传统的机械学、摩擦学、热力学等理论已不再适用。比如 微机 电系统 (MicroElectroMechanicalSystem，MEMS)是 由于尺寸效应 的影响，许多物理量随尺寸的缩小而变化 ，普 指采用微 电子制造技术融合精密加工技术来制造微小尺度 通机械即使通常工作的很好。按比例缩小成微机械也可能不 的功能器件和系统，也可译为微 电子机械系统，目前 尚无统 动或效率很差难 以实用化。因为微机 电系统理论还不完善 ， 一 的定义 ，但一般认为它是以微 电子、微机械与材料科学为 甚至有一些还存在对立与矛盾，同时微机 电系统是多学科交 基础 ，研究、设计和制造具有特定功能的微型装置，它包括微 叉的科学前沿新领域，短期 内建立一套完整的、科学的理论 结构器件 、微传感器、微执行器和微系统等。 体系不是很现实，这些都给课堂授课带来 了很大的挑战。 微机 电系统的特点和优点是：体积小、质量轻、性能稳 1．教学时间。微机 电系统课程 的教学时间是 32学时， 定 ；通过 Ic等工艺可批量生产 ，成本低 、性能一致性好 ；功耗 学生应该具备大学数学、物理、化学、材料学、流体力学、电子 低 、谐振频率高，响应时间短 ；综合集成度高、附加值高；具有 学和机械设计等工程学科的知识。由于学时少、内容多，全 多种能量转化、传输等功能的效应等。自2O世纪8O年代中 部进行精讲是不可能的，一定要突出重点，讲清难点，以点带 末期发展至今微机电系统一直受到世界各发达 国家 的广泛 面 ，优化课堂教学结构尤其重要 。宜采用启发式教学，鼓励 重视，在短短二十几年中得到了迅猛的发展 ，应用于汽车、信 学生通过查阅文献，特别是浏览互联网及时接触最新的研究 息、航空、生物和医药等多个领域 ，被认为是一项面 向21世 成果。由于不同专业的先修课程的差异，将来的工作岗位职 纪可 以广泛应用的新兴技术 。快速增长的市场对微机 电系 责也不同，所 以针对不 同专业 ，要充分考虑与先修课程 的衔 统的需求吸引了人们强烈的兴趣，人们对在高校里开设这个 接 ，教学 内容也应该有所侧重 。 学科 的课程提 出了需求 ，致使一些有影响的高校、研究机构 2．基础理论教学重点。针对机械设计制造及其 自动化 纷纷投巨资建立实验室，相当多的高校陆续开设了相关的课 专业的学生，考虑到他们的基础知识和其它课程的讲解 内 程。 容，基础理论主要讲授体积小型化带来 的尺寸效应 问题 ，重 微机电系统课程主要讲述微机 电系统的基本概念、加工 点是微机 电系统相关的物理量按比例缩小的正面和负面的 方法、应用实例等，力图使学生了解微机 电系统的基础理论 影响；微细制造技术主要讲授硅及其衍生物的制备、刻蚀 、改 和应用 ，拓宽学生 的知识面。但 由于微机 电系统课程开设时 质技术和微结构的结合过程中的各种键合技术等 ，重点在体 问较短，师资力量较弱，在教学内容、教学模式和教学实验等 微硅制造 、表面微加工和LIGA工艺；应用方面主要讲授微传 方面均处于探索阶段 ，