超声时效技术在微注塑模具制作中的应用 - 光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棸 暋 椂 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶椂 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 椂 暋 暋 暋 斒旛旑棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸椂灢棻棽椀棸灢棸椃 超声时效技术在微注塑模具制作中的应用 棳 棻棽灣 棽 棽 棻 棳 棳 棳 杜立群 李成斌 李永辉 于同敏 棬 棳 椈 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 辽宁大连 棻棶 棻棻椂棸棽棿 棳 棭 大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室 辽宁大连 棽棶 棻棻椂棸棽棿 椇 暍 棳 摘要 针对金属微注塑模具 斦斨灢斕斏斍斄制作过程中由于 斢斦灢椄胶内应力过大而引起的胶膜破裂 变形甚至脱落等问题 提 暎 棳 棳 出将超声时效技术应用于微注塑模具的制作工艺 首先 利用紫外光刻工艺制备了电铸胶膜 在显影前使用自制的超声 暎 棳 时效装置对胶膜进行超声处理 然后 采用无背板生长方法在 棾椄斆旘斘旈斖旑斖旓模具钢基底上直接进行镍金属的电铸生 棳 暍 暍 长 讨论并解决了工艺过程中遇到的 斢斦灢椄胶浮胶变形 非圆形基片的匀胶 胶膜中的气泡以及微电铸层结合不牢等问 暎 棳 暎 棳 题 最后 制作出微通道宽度和高度分别为 和 的微注塑模具 实验结果表明 超声时效技术的使用避免了 椄棸 旐 棾椀 旐 毺 毺 暍 棳 棳 由于斢斦灢椄胶内应力过大引起的破裂 变形甚至从基底脱落等缺陷 增强了 斦斨灢斕斏斍斄技术制作微注塑模具的能力 提高 了制作微注塑模具的成功率暎 椇 椈 椈 工艺椈 椈 关 键 词 超声时效技术 微注塑模具 灢斕斏斍斄 光刻胶 内应力 暋 暋 斦斨 斢斦灢椄 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斘棾棸椀斣斅椀椀椆暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棸椂棶棻棽椀棸