超精密加工切削及磨削机理研究.pdfVIP

2002年 6月 焦作大学学报 No．2 第 2期 JOURNALOFjIAOZUOUNIVERSITY jLIFt．2002 超精密加工切削和磨削机理研究 王 先 逵 (清华大学，北京 100000) 摘要：文章论述 了精密加工和超精密加工的范畴、加工方法、影响因素、地位和作用；分析 了21世纪初十年对精密加工和超精密加工的需求和技术发展趋势，提 出了十项有关超精密 加工切削和磨削机理的技术发展前沿，归总了技术发展特 点；最后 ，对 2000年 ～2010年规 划发展项 目提 出了建议 ，同时对超精密加工切削和磨削机理研究提 出了对策与建议 。 关键词 ：超精密切削 超精密磨削 机理 进化加工 微量切削 表面微观质量 中图分类号 ：TG502 文献标识码 ：A 文章编号：1008—7257 (2002)02—0001—05 1．概 述 1，1 技术内涵 1，1，1 精密加工和超精密加工的范畴 精密加工和超精密加工代表了加工精度发展的不 同阶段。由于生产技术的不断发展 ，划分的界限 将随着历史进程而逐渐向前推移 ，过去的精密加工对今天来说 已是一般加工 ，因此 ，其划分的界限是 相对的。并且在具体数值上至今没有准确的定义。 当前 ，精密加工是指加工精度为 1～0．1p．m、表面超糙度为及 Ra0．1～0．01m 的加工技术 ；超精 密加工是指加工精度高于 0．1,um，表面粗糙度小于及 Ra0．025t~m 的加工技术，又称亚微米级加工。 但 目前超精密加工已进入纳米级 ，并称为纳米加工及相应的纳米技术。 1，1，2 精密加工和超精密加工方法 根据加工方法的机理和特点，精密和超精密加工方法可以分为刀具切削加工、磨料加工、特种加 工和复合加工 ，如图 1所示。从图中可以看出，有些加工方法是传统加工方法的精密化 ，有些是特种 加工方法 的精密化 。 1．1．3 影响精密加工和超精密加工的因素 精密加工和超精密加工的发展 已形成制造系统工程 ，简称精密工程 ，它涉及超微量去除和堆积技 术、高稳定性和高净化的加工环境 、计量和检测技术、工况监控及质量控制等。由此可归纳出影响精 密加工和超精密加工的因素有 ：加工机理、被加工材料 、加工工具、加工设备及其基础元部件、工件 的定位与夹紧、检测与误差补偿 、工作环境和人的技艺等。 由上面论述可以看出，“超精密加工切削和磨削机理研究”主要是研究刀具切削加工、磨料加工 以及有关的复合加工的机理问题。 1．2 技术的地位与作用 1．2．1 超精密加工是标志国家制造工业水平的重要指标之一 超精密加工所能达到的精度 、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个 国家制造技术水平的 重要标志之一，例如 ，金刚石刀具切削刃钝圆半径是一个关键参数 ，日本声称已达到2nm；美国加利 福利亚大学 LawrenceLivermore实验室研制的大型超精密非球面车床 ，可加工尺寸为 o01625mm× 500ram，重量为 1360kg的工件 ，加工精度达 0．025vm、表面粗糙度达 RzO．0045vm。该机床采用精 收稿 日期 ：2002—03—05 作者简介 ：王先逵 (1933一)，男 ．江苏无锡人 ．现任清华大学教授 ．博士生导师 。中国机械工程学会学术委员会委员 ．我 国机 械制造领域资深教授和主要学术带头人之一。 ’ 焦 作 大 学 学 报 2002年6月 密数控激光反馈 闭环系统，分辨率为 2．5nm；恒温油淋温度控制可达20±0．0005℃。 、 砂带磨 削 、 油石研磨 超精加工 车 体